[发明专利]位置对准机构、加工装置以及位置对准方法

权利要求书

1.一种位置对准机构，其特征在于，

上述位置对准机构包括：

工件支撑座，其形成为直径比工件的外径大，并且具有对上述工件 的至少外周缘部进行吸附的吸附面；

位置数据获取部，其用于获取吸附于上述吸附面的上述工件的外周 缘部的位置数据；

位置数据计算部，其根据上述工件的外周缘部的位置数据，计算出 上述工件的中心的位置数据；以及

位置对准部，其在根据上述工件的中心的位置数据，使上述工件的 中心相对于保持上述工件的保持工作台的保持面的中心进行了位置对准 的状态下，将上述工件载置于上述保持面，

上述工件支撑座具有至少使照射向上述工件的外周缘部的光透射的 透光部，并且上述工件支撑座构成为能够绕与上述吸附面正交的轴旋转，

上述位置数据获取部是摄像机构，该摄像机构具有：照射部，其对 上述工件的外周缘部进行照射；以及摄像部，其对经上述透光部而透过 了上述工件的透射光进行读取，上述摄像机构用于获取上述工件的外周 缘部的图像数据。

2.根据权利要求1所述的位置对准机构，其特征在于，

在上述工件的外周缘部形成有表示上述工件的朝向的标记部，

上述位置数据计算部根据上述工件的外周缘部的位置数据来计算出 上述工件的中心的位置数据，并且上述位置数据计算部根据上述标记部 来计算出表示上述工件的朝向的角度数据，

上述位置对准部根据上述工件的中心的位置数据和上述角度数据， 使上述工件的中心相对于上述保持面的中心进行位置对准，并且使上述 工件的朝向对准上述保持面的朝向。

3.一种加工装置，其特征在于，

上述加工装置具有：

权利要求1或2所述的位置对准机构；以及

加工机构，其在上述工件的中心与上述保持工作台的中心进行了位 置对准的状态下对上述工件进行加工。

4.一种利用权利要求1所述的位置对准机构执行的位置对准方法， 其特征在于，

上述位置对准方法具有以下步骤：

将工件载置于工件支撑座的步骤，其中，上述工件支撑座形成为直 径比上述工件的外径大，并且上述工件支撑座具有对上述工件的至少外 周缘部进行吸附的吸附面；

获取吸附于上述工件支撑座的上述工件的外周缘部的位置数据的步 骤；

根据上述工件的外周缘部的位置数据来计算出表示上述工件的中心 的工件中心的位置数据的步骤；以及

在根据上述工件的中心的位置数据，使上述工件的中心相对于保持 上述工件的保持工作台的保持面的中心进行了位置对准的状态下，将上 述工件载置于上述保持面的步骤。