[发明专利]振动片和振子有效
| 申请号： | 201010115312.9 | 申请日： | 2010-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN101807897A | 公开（公告）日： | 2010-08-18 |
| 发明（设计）人： | 石井昌宏;舟川刚夫 | 申请（专利权）人： | 爱普生拓优科梦株式会社;精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/205 | 分类号： | H03H9/205 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 日本东京*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 振动 | ||
1.一种振动片，该振动片具有3个以上的振动臂以及连接所述振动 臂的基部，所述振动臂在厚度方向上振动，且相邻的所述振动臂朝彼此 相反的方向振动，该振动片的特征在于，具有：
下部电极，其设置在所述振动臂的在厚度方向上相对的第1面和第 2面中的所述第1面上；
压电膜，其形成在所述下部电极的所述厚度方向上的上方；
上部电极，其形成在所述下部电极和所述压电膜的所述厚度方向上 的上方；以及
配线，其与所述下部电极和所述上部电极连接，
与所述上部电极连接的配线以围住所述振动臂的方式，经由所述振 动臂的侧面而被引出至所述振动臂的所述第2面。
2.根据权利要求1所述的振动片，其特征在于，
在所述基部的端部形成有与所述配线连接的安装电极。
3.根据权利要求2所述的振动片，其特征在于，
所述基部的厚度形成得比所述振动臂的厚度厚，将所述振动臂与所 述基部连接起来的所述基部的一部分形成为，其厚度从所述振动臂朝向 所述基部连续地变厚。
4.一种振动片，该振动片具有3个以上的振动臂以及连接所述振动 臂的基部，所述振动臂在厚度方向上振动，且相邻的所述振动臂朝彼此 相反的方向振动，该振动片的特征在于，具有：
下部电极，其设置在所述振动臂的在厚度方向上相对的第1面和第 2面中的所述第1面上；
压电膜，其形成在所述下部电极的所述厚度方向上的上方；
上部电极，其形成在所述下部电极和所述压电膜的所述厚度方向上 的上方；以及
配线，其与所述下部电极和所述上部电极连接，
与所述下部电极连接的配线以围住所述振动臂的方式，经由所述振 动臂的侧面而被引出至所述振动臂的所述第2面。
5.根据权利要求4所述的振动片，其特征在于，
在所述基部的端部形成有与所述配线连接的安装电极。
6.根据权利要求5所述的振动片，其特征在于，
所述基部的厚度形成得比所述振动臂的厚度厚，将所述振动臂与所 述基部连接起来的所述基部的一部分形成为，其厚度从所述振动臂朝向 所述基部连续地变厚。
7.一种振子，其特征在于，
该振子具有权利要求1～6中的任一项所述的振动片以及收纳所述 振动片的收容器，所述振动片被气密地收容在所述收容器内。
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