[发明专利]振动片和振子

说明书

技术领域

本发明涉及具有振动臂的振动片和振子。

背景技术

在具有振动臂的振子中，公知有如下这样的振动片：该振动片的振 动臂不像弯曲振动那样在面内进行振动，而是在振动臂的厚度方向进行 振动。该振动片一般具有多个振动臂，且进行行走模式（walk mode）振 动，即，相邻的振动臂交替重复地进行相反方向的振动。

例如，在专利文献1中公开了一种利用行走模式振动的角速度传感 器。该角速度传感器具有由硅等形成的3个臂（振动臂），在各个臂的一 面上按这样的顺序形成有臂驱动用的下层电极（下部电极）、压电薄膜（压 电膜）以及上层电极（上部电极）。由这些下层电极、压电薄膜以及上层 电极形成压电元件，能够利用压电薄膜的逆压电效应来在振动片的厚度 方向上进行振动。而且，以使相邻的臂朝相反方向进行振动的方式来设 定各电极的极性。

【专利文献1】日本特开2008-224627号公报

在这样的振动片中，在一个面上配置有与下层电极和上层电极连接 的配线，各个配线以避免相互交叉的方式进行配置。因此，配线的配置 复杂，而且需要较大的面积。

并且，在专利文献1那样的结构中，特别是在要实现振动片的小型 化的情况下，振动片的面积减小，因而难以确保配线路径，难以实现振 动片的小型化。

发明内容

本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，可以作为以下 方式或应用例来实现。

［应用例1］本应用例的振动片具有3个以上的振动臂以及连接所 述振动臂的基部，所述振动臂在厚度方向上振动，且相邻的所述振动臂 朝彼此相反的方向振动，该振动片的特征在于，具有：下部电极，其设 置在所述振动臂的在厚度方向上相对的第1面和第2面中的所述第1面 上；压电膜，其形成在所述下部电极的上方；上部电极，其形成在所述 下部电极和所述压电膜的上方；以及配线，其与所述下部电极和所述上 部电极连接，与所述上部电极连接的配线以围住所述振动臂的方式，经 由所述振动臂的侧面而被引出至所述振动臂的所述第2面。

根据该结构，与上部电极连接的配线以围住振动臂的方式，从振动 臂的第1面经由振动臂的侧面而被引出至振动臂的第2面。

这样，通过从振动臂的第1面向作为其背面的第2面引出配线，能 够容易地将配线引出至背面。而且，由于能够将振动片的正面和背面均 用于配线的配置，因而扩大了能够配置配线的面积，增加了配线的配置 自由度。并且，即使在有限的空间中也能够实现配线的配置，能够实现 振动片的小型化。

［应用例2］在上述应用例的振动片中，优选的是，在所述基部的 端部形成有与所述配线连接的安装电极。

根据该结构，在振动片的基部的端部形成有与配线连接的安装电极， 能够经由该安装电极实现与上部电极和下部电极的电导通。另外，通过 使用导电粘结剂等将振动片固定在安装电极部分上，能够用悬臂结构来 保持振动片，能够良好地实现振动片的特性。

［应用例3］在上述应用例的振动片中，优选的是，所述基部的厚 度形成得比所述振动臂的厚度厚，将所述振动臂与所述基部连接起来的 所述基部的一部分形成为，其厚度从所述振动臂朝向所述基部连续地变 厚。

根据该结构，在基部的厚度形成得比振动臂的厚度厚的振动片中， 基部的一部分形成为，其厚度从振动臂朝向基部的端部连续地变厚。基 部的与振动臂之间的连接部分形成为斜面状，从振动臂引出至基部的配 线经过该斜面而与安装电极等连接。

对于那种在不形成斜面部的情况下将振动臂与基部连接的情况而 言，会在振动臂与基部的边界处产生台阶。而在本应用例中，由于在连 接部分具有斜面部，因而与在台阶处配线发生交叉的情况相比，不会出 现配线交叉成锐角的棱角的情况，能够防止该部分处的配线的断线。并 且，由于在振动臂与基部的连接部分不存在台阶，因此，在使用光刻技 术来形成配线的情况下，能够可靠地进行抗蚀剂的曝光，能够在不发生 配线断线的情况下容易地形成配线。