[发明专利]压电振子、压电振子的制造方法以及振荡器

权利要求书

1.一种压电振子，该压电振子具有：

基础基板；

盖基板，其与所述基础基板接合，且与所述基础基板之间形成腔；

压电振动片，其被收容在所述腔内，并在石英板的外表面上形成有激励电极和与该激励电极电连接的安装电极，并且，该压电振动片的长度方向的端部形成为渐薄状；

贯通电极，其被设置在所述基础基板上形成的贯通孔中；

迂回电极，其形成在所述基础基板上，用于将所述压电振动片与所述贯通电极电连接；以及

金属凸块，其形成在所述迂回电极上，用于将所述迂回电极与所述安装电极电连接且在单侧支撑状态下安装所述压电振动片，沿着所述压电振动片的长度方向形成有多个该金属凸块，并且，它们的高度向着与所述压电振动片的长度方向上的端部对应的位置而变高。

2.根据权利要求1所述的压电振子，其中，

所述压电振动片是AT切振动片。

3.根据权利要求1所述的压电振子，其中，

所述金属凸块是金凸块。

4.根据权利要求1所述的压电振子，其中，

所述石英板的形状为斜角状或凸面状。

5.一种压电振子的制造方法，该压电振子具有：基础基板；盖基板，其与所述基础基板接合，且与所述基础基板之间形成腔；压电振动片，其被收容在所述腔内，在石英板的外表面上形成有激励电极和与该激励电极电连接的安装电极，并且，该压电振动片的长度方向的端部形成为渐薄状；贯通电极，其被设置在所述基础基板上形成的贯通孔中；迂回电极，其形成在所述基础基板上，用于将所述压电振动片与所述贯通电极电连接；以及金属凸块，其形成在所述迂回电极上，用于将所述迂回电极与所述安装电极电连接且在单侧支撑状态下安装所述压电振动片，其中，

在所述基础基板上形成迂回电极，

在所述迂回电极上，沿着所述压电振动片的长度方向形成多个所述金属凸块，它们的高度向着与所述压电振动片的长度方向上的端部对应的位置而变高，

将所述压电振动片的安装电极与所述金属凸块接合，在单侧支撑状态下安装所述压电振动片。

6.一种振荡器，该振荡器具有：

权利要求1所述的压电振子；以及

集成电路，该集成电路将所述压电振子作为振荡部而与其电连接。