[发明专利]压电振子、压电振子的制造方法以及振荡器

说明书

技术领域

本发明涉及压电振子、压电振子的制造方法以及振荡器。

背景技术

以往，在移动电话及移动信息终端设备中，使用利用了石英等的压电振子作为时刻源、控制信号的定时源以及基准信号源等。作为这种压电振子，已经提出过各种各样的压电振子，而作为其中之一，公知有厚度滑动振子(AT振子)，其适合于具有MHz频带的振荡频率的控制以及通信机用振子(例如参照专利文献1)。

一般情况下，AT振子具有压电振动片、将该压电振动片收纳在内部的基础基板以及盖基板。如专利文献1所示，压电振动片具有：石英板，其形成为厚度一定的板状，且从平面看外形形成为矩形；以及形成在该石英板的两面上的激励电极、迂回电极以及安装电极。具体而言，在石英板的两面的大致中央部分的彼此相对的位置处，形成激励电极。并且，在石英板的端部，形成有经由迂回电极与激励电极电连接的安装电极。另外，关于安装电极，在石英板的两面上分别形成有与一个激励电极连接的安装电极和与另一个激励电极连接的安装电极。此时，形成在一个面上的安装电极经过石英板的侧面而与形成在另一个面上的安装电极电连接。

而且，将振动片的安装电极载置在基础基板上形成的凸块上。另外，凸块与迂回电极电连接，迂回电极经由贯通电极与外部电极电连接。通过这种结构，能够利用外部电极对压电振动片的激励电极施加电流。

【专利文献1】日本特许第3911838号公报

如上所述，在压电振动片使用形成为厚度一定的板状的石英板的情况下，采用上述结构没有特别的问题。

但是，如图13、14所示，近年来，作为压电振动片所使用的石英板101、102，有时使用厚度不恒定的斜角(bevel)状石英板101或凸状石英板102。当用凸块将这种斜角状或凸面状的石英板101、102连接在基础基板上时，如图15所示，石英板可能无法与基础基板103保持平行而发生倾斜。当石英板的倾斜较大而致使石英板101与基础基板103接触时，可能影响压电振子的电气特性而无法得到原来的电气特性。

发明内容

因此，本发明正是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供不受石英板形状的限制、能够使石英板与基础基板保持平行的压电振子、压电振子的制造方法以及振荡器。

为了解决所述课题，本发明提供以下手段。

本发明的压电振子具有：基础基板；盖基板，其在与该基础基板对置的状态下与所述基础基板接合；压电振动片，其收容在所述基础基板与所述盖基板之间形成的腔内，并且与所述基础基板的上表面接合，在石英板的外表面上形成有激励电极和与该激励电极电连接的安装电极；贯通电极，其设置在所述基础基板上形成的贯通孔中；迂回电极，其形成在所述基础基板的上表面上，用于将所述压电振动片与所述贯通电极电连接；以及金属凸块，其形成在该迂回电极的规定位置上，用于将该迂回电极与所述安装电极电连接，所述压电振动片的长度方向的端部形成为渐薄形状，并且，所述金属凸块将所述压电振动片安装成单侧支撑状态，其特征在于，沿着所述压电振动片的长度方向形成有多个所述金属凸块，并且，所述金属凸块的高度向着与所述压电振动片的长度方向的端部对应的位置而变高。

在本发明的压电振子中，当要将压电振动片的安装电极与金属凸块电连接时，形成具有如下高度的金属凸块，该高度与石英板和基础基板保持平行状态时、基础基板的表面(迂回电极的表面)与石英板的表面(安装电极的表面)之间的距离相对应。因此，即使在石英板的端部形成为渐薄状的情况下，也能够在压电振动片的轴向与基础基板保持平行状态的状态下进行凸块接合。即，不受石英板形状的限制，能够使石英板与基础基板保持平行。并且，由于是用多个金属凸块来支撑压电振动片，因此能够更可靠地将压电振动片与基础基板保持为平行状态。

本发明的压电振子的特征在于，所述压电振动片是AT切(AT cut)振动片。

本发明的压电振子能够提供具有AT切振动片的压电振子，该AT切振动片容易调整振荡频带，针对大范围的温度，频率稳定性优异。

本发明的压电振子的特征在于，所述金属凸块是金凸块。

在本发明的压电振子中，在以凸块接合方式将压电振动片与金凸块接合时，能够使用超声波，仅使凸块的顶端附近熔化而与压电振动片接合，所以，即使压电振动片的长度方向上的端部形成为渐薄状，也能够在使压电振动片与基础基板保持平行状态的状态下，与压电振动片的端部形状对应地，可靠地进行凸块接合。

本发明的压电振子的特征在于，所述石英板的形状为斜角状或凸面状。

在本发明的压电振子中，能够稳定压电振子的频率特性和阻抗特性等电气特性。