[发明专利]成膜方法、面板制造装置、退火装置

权利要求书

1.一种成膜方法，将一边作为先头，使矩形的成膜对象物在真空 气氛中移动，使所述成膜对象物与放出等离子体显示器用保护膜材料 的蒸气的蒸发源面对，使所述保护膜材料的蒸气到达所述成膜对象物 的表面并形成保护膜，之后，对所述成膜对象物进行加热并进行退火 处理，其中，

在所述成膜对象物的四边中，将与所述先头的一边呈直角的两边， 与该两边的中央相比加热到高温，进行所述退火处理。

2.根据权利要求1所述的成膜方法，在将反应气体导入所述真空气 氛的期间中使所述保护膜材料的蒸气放出，对所述保护膜进行成膜， 其中，

在所述成膜对象物的四边中，在对与所述先头的一边呈直角的两 边的边缘部分比起该两边间的中央部较多地喷吹所述反应气体的期间 中形成所述保护膜。

3.根据权利要求1或权利要求2的任一项所述的成膜方法，其中， 在所述成膜对象物的四边中，在比起与所述先头的一边呈直角的两边 将所述两边的中央加热到高温的期间中形成所述保护膜。

4.根据权利要求1所述的成膜方法，其中，在所述保护膜材料的蒸 气到达所述成膜对象物之前，在所述成膜对象物的四边中，比起与所 述先头的一边呈直角的两边，预先将所述两边的中央加热到高温。

5.根据权利要求1所述的成膜方法，其中，在将所述成膜对象物配 置在一气压以上的加热气氛中的状态下，进行所述退火处理。

6.一种面板制造装置，构成为具有：

成膜室；

成膜材料室，内部空间经由开口连接于所述成膜室的内部空间；

蒸发源，其为配置在所述成膜材料室内的等离子体显示器用保护 膜材料的蒸发源；以及

退火室，设置有退火用加热器，

将矩形的成膜对象物的一边作为先头，使该成膜对象物与所述开 口面对并移动，在所述成膜对象物表面形成所述保护膜材料的蒸镀膜 之后，将所述成膜对象物搬入所述退火室内，以所述退火用加热器进 行加热，其中，

该面板制造装置还构成为，所述退火用加热器在所述成膜对象物 的四边中，将与所述先头的一边呈直角的两边与该两边的中央相比加 热到高温。

7.根据权利要求6所述的面板制造装置，其中，构成为具有：反 应气体导入系统，将反应气体导入所述成膜室内，

所述反应气体导入系统在所述成膜对象物的四边中，对与所述先 头的一边呈直角的两边的边缘部分，与该两边的中央部相比较多地喷 吹所述反应气体。

8.根据权利要求6或权利要求7的任一项所述的面板制造装置，其 中，构成为具有：成膜用加热器，在所述成膜室内对所述成膜对象物 进行加热，

所述成膜用加热器在所述成膜对象物的四边中，比起与所述先头 的一边呈直角的两边，将所述两边的中央加热到高温。

9.一种退火装置，构成为，将一边作为先头，使矩形的成膜对象物 在真空气氛中移动，使所述成膜对象物与放出等离子体显示器用保护 膜的蒸气的蒸发源面对，使所述保护膜材料的蒸气到达所述成膜对象 物的表面并形成保护膜，之后，对所述成膜对象物进行加热并进行退 火处理，其中，该退火装置具有：

退火室；

气体导入系统，连接于所述退火室，导入包含氧的压力调整气体， 使退火室为一气压以上的气氛；以及

加热单元，对收容在所述退火室内的所述成膜对象物进行加热，

所述加热单元将加热器相互平行地空开固定间隔而配置多个，能 在加热器间的间隙中配置所述成膜对象物，其中，所述加热器以将所 述成膜对象物的与所述先头的一边呈直角的两边，与该两边的中央相 比加热到高温的方式构成。