[发明专利]滑动零件的制造方法及滑动零件

权利要求书

1.一种滑动零件的制造方法，该滑动零件在基材的表面的至少一部分上 具有形成DLC被膜的滑动部，其特征在于，

该制造方法具有：

为了对所述滑动部的DLC被膜的表面的一部分进行遮蔽，而将具有可与 所述滑动零件的形成有DLC被膜的滑动部外嵌的内径、且在外周具有多个孔 的、由铝或陶瓷或不锈钢预先形成的筒状遮蔽构件以能够取下的方式外嵌在所 述滑动部上、从而成为与其DLC被膜密接的状态的遮蔽工序；

通过将位于所述遮蔽构件的孔的部分的DLC被膜进行蚀刻而在所述DLC 被膜上形成凹部的蚀刻工序；

在该蚀刻工序之后从所述滑动部取下所述遮蔽构件的工序。

2.如权利要求1所述的滑动零件的制造方法，其特征在于，所述凹部形 成为储油部。

3.如权利要求1或2所述的滑动零件的制造方法，其特征在于，所述凹 部相对于所述滑动部的总表面积而在14％～70％的范围内形成。

4.如权利要求1或2所述的滑动零件的制造方法，其特征在于，在形成 所述DLC被膜的工序之前，具有在所述基材的表面上形成金属被膜的金属被 膜形成工序。

5.如权利要求4所述的滑动零件的制造方法，其特征在于，通过将所述 DLC被膜蚀刻至所述金属被膜的表面露出为止，来形成所述凹部。

6.如权利要求1所述的滑动零件的制造方法，其特征在于，在所述DLC 被膜中，未被所述遮蔽构件遮蔽的部分都是相同的形状。

7.如权利要求6所述的滑动零件的制造方法，其特征在于，在所述DLC 被膜中，未被所述遮蔽构件遮蔽的部分都是圆形。

8.如权利要求7所述的滑动零件的制造方法，其特征在于，所述蚀刻工 序中的蚀刻是等离子蚀刻。

9.如权利要求8所述的滑动零件的制造方法，其特征在于，所述基材是 钢材料，在所述基材为150℃以下的状态下进行所述等离子蚀刻。

10.如权利要求1或2所述的滑动零件的制造方法，其特征在于，所述蚀 刻工序中的蚀刻是激光蚀刻。

11.一种滑动零件，其特征在于，是用权利要求1～10中任一项所述的方 法制造的滑动零件。

12.如权利要求11所述的滑动零件，其特征在于，所述基材的滑动部是 往复滑动部。

13.如权利要求12所述的滑动零件，其特征在于，用作为缝纫机的结构 零件。

14.如权利要求13所述的滑动零件，其特征在于，所述结构零件是挑线 杆的挑线杆轴。