[发明专利]滑动零件的制造方法及滑动零件

说明书

本申请是申请人于2004年8月9日提交的、申请号为200410056706.6的、 发明名称为“滑动零件的制造方法及滑动零件”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明，涉及滑动零件的制造方法及滑动零件，尤其，涉及通过在滑动部 形成储油部而提高非烧结性的滑动零件的制造方法及滑动零件。

背景技术

以往，例如，在缝纫机中，多个滑动零件被互相滑动自如地组装着。在这 些滑动零件中，为了防止其滑动部的烧结及减小磨损，一般，在滑动部供给润 滑油或在滑动部的表面上形成耐磨损性高的被膜。

例如，在日本专利申请公开2003-111990号公报(参照图5～图8)，揭示 了在与滑动零件相当的针杆的滑动部的表面上形成DLC被膜(Diamond Like Carbon被膜)的缝纫机。DLC被膜，由于摩擦系数低(一般在约0.1以下)且 为高硬度，耐磨损性及滑动性非常优异，这是公知的。该DLC被膜，利用例 如UBM溅射(Unbalanced Magnetron Sputtering)等的物理蒸镀法及CVD (Chemical Vapor Deposition)等的化学蒸镀法被形成于滑动部的表面上。

又，在该缝纫机中，为了进一步提高所述针杆的滑动部的耐磨损性，对于 可滑动地支承所述针杆的针杆支承构件的滑动部，使用容易与所述DLC被膜 圆滑地滑动的铝合金材料等。该铝合金材料，通过防止DLC被膜的缠结结合(Dangling Bond)和与其终端的氢的结合的切断，由此，能防止所述DLC被 膜的石墨(Graphite)化的进展，从而能提高DLC被膜的耐磨损性。

可是，若从防止烧结的方面来考虑，即使例如作成了这样的结构，也还需 要对滑动部供给润滑油。但是，即使对针杆和针杆支承构件的滑动部供给了润 滑油，由于所述滑动部的表面互相滑动，不能将所述润滑油长时间地保持在该 滑动部，在从供给润滑油的短时间(例如，不到1000小时)中，所述滑动部 就会产生烧结。

为了防止滑动部的烧结，只要作业者频繁地对滑动部进行润滑油的供给就 可以，但一般在缝纫机上滑动部有多个部位，而且，还有不能简单地供给润滑 油的部位，故该作业需要非常多的劳动力。因此，考虑有在DLC被膜上形成 由凹凸状的槽构成的储油部、使润滑油不会在短时间中从滑动部流出的方法， 但一般由于该DLC被膜是数μm程度的厚度，故要用切削等的机械加工形成 所述凹凸，在精度上是非常困难的。

发明内容

本发明的目的在于，提供通过在滑动部的DLC被膜上设置作为储油部的 凹部来提高润滑油的保持力、赋予高的非烧结性的滑动零件的制造方法及滑动 零件。

本发明的滑动零件的制造方法，该滑动零件具有在基材的表面的至少一部 分上形成DLC被膜的滑动部，其特征在于，该制造方法具有：为了将所述滑 动部的DLC被膜的表面的一部分遮蔽，而将具有可与滑动零件的形成有DLC 被膜的滑动部外嵌的内径、且在外周具有多个孔的、由铝或陶瓷或不锈钢预先 形成的筒状遮蔽构件以能够取下的方式外嵌在滑动部上、从而成为与DLC被 膜密接的状态的遮蔽工序；通过将位于所述遮蔽构件的孔的部分的DLC被膜 进行蚀刻而在所述DLC被膜上形成凹部的蚀刻工序，在蚀刻工序之后从滑动 部取下遮蔽构件的工序。

该场合，最好是，所述凹部作为储油部而形成，并且，使所述凹部相对所 述滑动部的总表面积而在约14％～17％的范围内形。

采用这样的结构，首先，利用等离子蚀刻(Plasma Etching)将未被遮蔽 构件遮蔽的DLC被膜去除，由于形成了作为储油部功能的凹部，故与要求精 度的机械作业相比、能简单地形成储油部，并能防止对基材等造成损伤。又， 由于仅使遮蔽构件的形状进行变化，故能使所述凹部的形状自由地进行变化。

如上所述，通过对滑动部形成作为储油部功能的凹部，由于该凹部能保持 润滑油，能长时期地防止所述滑动部上的润滑油的流出，故能提高滑动部的非 烧结性(使烧结寿命延长)。又，若在相对所述滑动部的总表面积的约14％～17％ 的范围中形成所述凹部，通过一次的润滑油的供给就能大幅度地延长滑动部的 烧结寿命。