[发明专利]一种基于互补型SCR的静电放电防护电路无效
申请号: | 201010125977.8 | 申请日: | 2010-03-17 |
公开(公告)号: | CN101834433A | 公开(公告)日: | 2010-09-15 |
发明(设计)人: | 李明亮;董树荣;韩雁;宋波;苗萌;马飞 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | H02H9/02 | 分类号: | H02H9/02;H01L23/60 |
代理公司: | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人: | 胡红娟 |
地址: | 310027 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 互补 scr 静电 放电 防护 电路 | ||
1.一种基于互补型SCR的静电放电防护电路,用于防护核心电路输入/输出端、正电源线、负电源线三者之间的静电放电,其特征在于,包括:
电源箝位单元,两端分别连接正电源线和负电源线,用于正电源线和负电源线之间的静电放电防护;
相互连接的PNPNP型双向SCR和NPNPN型双向SCR,其中PNPNP型双向SCR的两个连接端子分别连接正电源线和核心电路的输入/输出端,用于正电源线与核心电路的输入/输出端之间的静电放电防护;NPNPN型双向SCR的两个连接端子分别连接负电源线和核心电路的输入/输出端,用于负电源线和核心电路的输入/输出端之间的静电放电防护。
2.根据权利要求1所述的静电放电防护电路,其特征在于:
所述的PNPNP型双向SCR包括第一P型衬底(101),第一P型衬底(101)内设有第一N型埋层(102),第一N型埋层(102)上注有第一P阱(103),第一P阱(103)侧面和第一P型衬底(101)之间注有与第一P阱(103)结深相同的环形的第一N阱(104),第一P阱(103)内注有第一N型漂移区(105a)和第二N型漂移区(105b),第一N型漂移区(105a)内设有第一P+注入区(107)和第一N+注入区(106),第二N型漂移区(105b)内设有第二P+注入区(108)和第二N+注入区(109),其中第一P+注入区(107)和第二P+注入区(108)位于内侧,第一N型漂移区和第二N型漂移区之间的第一P阱(103)上设有第五P+注入区(110),第一P型衬底(103)、第一N阱(104)和第一P阱(101)上均覆有氧化隔离层;
所述的NPNPN型双向SCR包括第二P型衬底(201),第二P型衬底(201)内设有第二N型埋层(202),第二N型埋层(202)上注有第二P阱(203)和第三P阱(205),第二P阱(203)和第三P阱(205)被设于第二P型衬底(201)内的与它们结深相同的第二N阱(204)包围,第二P阱(203)内设有第三N+注入区(207)和第三P+注入区(206);第三P阱(205)内设有第四N+注入区(208)和第四P+注入区(209),其中第三N+注入区(207)和第四N+注入区(208)位于内侧,第三P阱(203)和第三P阱(205)之间的第二N阱(204)内注有第五N+注入区(210),第二P型衬底(201)、第二P阱(203)、第三P阱(205)以及第二N阱(204)上覆有氧化隔离层;
第五N+注入区(210)和第五P+注入区(110)相互连接,第一N+注入区(106)和第一P+注入区(107)连接至正电源线,第四N+注入区(208)和第四P+注入区(209)连接负电源线,第二N+注入区(109)、第三N+注入区(208)、第二P+注入区(108)以及第三P+注入区(209)连接核心电路的输入/输出端。
3.根据权利要求1所述的静电放电防护电路,其特征在于,所述的电源箝位单元包括:
一个由电容和电阻串联组成的RC检测电路;
一个由第一NMOS管(302)和PMOS管(301)组成的反相器;
一个用于泄放ESD的第二NMOS管(303);
RC检测电路的电阻端、PMOS管(301)的衬底和源极以及第二NMOS(302)管的漏极连接正电源线,RC检测电路的电容端、第一NMOS管(302)的衬底和源极以及第二NMOS管(303)的衬底和源极连接负电源线,第二NMOS管(303)的栅极连接PMOS管(301)和第一NMOS管(302)的漏极。
4.根据权利要求3所述的静电放电防护电路,其特征在于:所述的RC检测电路的RC时间常数为0.1~0.2us。
5.根据权利要求1所述的静电放电防护电路,其特征在于:包括两端分别连接核心电路的输入/输出端和核心电路的限流电阻(Rp)。
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