[发明专利]衬底支承设备、衬底传输设备以及电子装置制造方法

权利要求书

1.一种衬底支承设备，所述衬底支承设备将衬底保持部分插入到形成在衬底中的中心孔中，并且通过所述衬底保持部分将所述衬底支承在竖直的方位中，所述衬底支承设备包括：

第一连接板，其连接到所述衬底保持部分；

第二连接板，其面对所述第一连接板并且连接到用于将所述衬底传输到衬底保持器的传输机器人；

至少三个线性的支承构件，其构造成将所述第一连接板连接到所述第二连接板；以及

弹性的减震构件，其插入在所述第一连接板与所述第二连接板之间。

2.根据权利要求1所述的衬底支承设备，其中，所述至少三个支承构件在被所述减震构件的回复力拉住的同时连接在所述第一连接板与所述第二连接板之间。

3.根据权利要求1所述的衬底支承设备，其中，所述至少三个支承构件具有同样的长度并且具有低弹性和无弹性之一。

4.根据权利要求1所述的衬底支承设备，其中，所述减震构件包括盘簧。

5.根据权利要求1所述的衬底支承设备，其中，所述第一连接板与所述第二连接板中的至少一个包括调节机构，所述调节机构构造成调节所述第一连接板与所述第二连接板之间的间隔。

6.根据权利要求1所述的衬底支承设备，其中，在每个所述支承构件的两个端部处形成有锁定部分，在所述第一连接板和所述第二连接板中的每个中都形成有用于插入所述支承构件的通孔和用于将所述支承构件插入到所述通孔中的切口，并且所述支承构件通过将位于每个所述支承构件的两个端部处的所述锁定部分锁定到所述第一连接板和所述第二连接板的侧表面中而连接在所述第一连接板与所述第二连接板之间。

7.根据权利要求6所述的衬底支承设备，其中

在所述第一连接板和所述第二连接板中的至少一个上布置有：螺栓状的固定工具，每个所述螺栓状的固定工具都包括通孔和切口以插入相对应的一个所述支承构件；和内螺纹部分，每个所述内螺纹部分都包括与相对应的一个所述螺栓状的固定工具的外螺纹部分啮合的切口，并且

每个所述支承构件都通过将在所述第一连接板、所述第二连接板、所述螺栓状的固定工具和所述内螺纹部分中的相对应的一套切口对准，而插入到在所述第一连接板和所述第二连接板中的相对应的一套通孔和在相对应的一个所述螺栓状的固定工具中的通孔中。

8.一种衬底传输设备，包括：

根据权利要求1所述的衬底支承设备；和

传输机器人，其构造成将所述衬底传输到所述衬底保持器。

9.根据权利要求8所述的衬底传输设备，其中

在所述衬底保持器中形成有用于将所述衬底附装到所述衬底保持器的衬底附装孔，并且在所述衬底附装孔中安装有用于支承所述衬底的固定爪和用于附装/拆卸所述衬底的可运动爪，并且

通过将由所述衬底支承设备的所述衬底保持部分所保持的所述衬底插入到所述衬底附装孔中，并通过所述传输机器人将所述衬底推靠所述固定爪，并且在所述衬底被推靠到所述固定爪之后将所述可运动爪推靠到所述衬底，而将所述衬底保持在所述衬底附装孔中。

10.一种使用制造设备制造电子装置的方法，所述制造设备包括衬底传输设备、载体和多个室，所述多个室包括至少一个沉积室，

所述衬底传输设备包括衬底支承设备和传输机器人并构造成将衬底传输到所述衬底保持器，

所述衬底支承设备构造成将衬底保持部分插入到形成在所述衬底中的中心孔中，并且将所述衬底以竖直的方位支承在所述衬底保持部分上，并且包括

第一连接板，其连接到所述衬底保持部分，

第二连接板，其面对所述第一连接板并且连接到所述传输机器人，

至少三个线性的支承构件，其构造成将所述第一连接板连接到所述第二连接板，以及

弹性的减震构件，其插入在所述第一连接板与所述第二连接板之间，并且

所述载体构造成保持和传输所述衬底保持器通过所述多个室，

所述方法包括以下步骤：

将衬底从所述衬底传输设备传输至所述载体；并且

通过将所述载体传输到所述沉积室中而在所述衬底上沉积膜。