[发明专利]衬底支承设备、衬底传输设备以及电子装置制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种对例如用于硬盘(磁存储介质)的衬底进行支承的衬底支承设备、衬底传输设备以及电子装置制造方法。

背景技术

为了当在中心处包括中心孔的衬底(例如，硬盘衬底)竖直地定向时传输该衬底，传统的方法通过将包括V形槽的衬底支承设备插入到中心孔中而支承衬底，并且通过传输机器人将衬底连同衬底支承设备一起传输。不幸地，经常发生的情况是，在以这种方式附装被支承在竖直的方位中的衬底的过程中，传输机器人将衬底过度地压靠附装孔中的固定爪，并且固定爪破坏衬底的外部周边。

为了解决上述问题，日本专利特开No.2001-89851提出了一种衬底支承设备，所述衬底支承设备借助减震机构将衬底支承在衬底保持部分上。

最近随着衬底的材料和尺寸两个方面的多样化，更柔性的减震机构已经变得必要。更具体地，当使用的衬底软于固定爪时，更弹性的减震机构已经变得必要，以便在不破坏衬底的外部周边的情况下将衬底附装到衬底保持器。另外，因为衬底质量随着衬底的尺寸减小而减少，所以具有与衬底质量相适应的柔性(即，具有更高的弹性)的衬底附装减震机构已经变得必要。

发明内容

本发明的目的是提供一种可以提高其减震效应的衬底支承设备以及使用该衬底支承设备的衬底传输设备。

本发明的一个方面提供一种衬底支承设备，所述衬底支承设备将衬底保持部分插入到形成在衬底中的中心孔中，并且通过衬底保持部分将衬底支承在竖直的方位中，所述设备包括：第一连接板，其连接到衬底保持部分；第二连接板，其面对第一连接板并且连接到用于将衬底传输到衬底保持器的传输机器人；至少三个线性的支承构件，其构造成将第一连接板连接到第二连接板；以及弹性的减震构件，其插入在第一连接板与第二连接板之间。

根据本发明，可以在衬底附装至衬底保持器时减少作用在衬底上的外力，从而即使当所附装的衬底软于固定爪时也可靠地防止衬底的外部周边的损坏和破裂。

本发明的其它特征将从以下参照附图的示例性实施例的说明而变得清楚。

附图说明

图1是示出根据本发明的衬底保持器的正视图；

图2A、2B和2C是用于解释从衬底由根据本发明的衬底传输设备从衬底盒拾取时开始直到衬底附装到衬底保持器为止的处理的视图；

图3是示出根据本发明的衬底支承设备的侧剖视图；

图4是沿着图3中的线X-X得到的分解剖视图；

图5A、5B和5C是用于解释其中根据本发明的衬底支承设备的连接板和支承构件相互连接的结构的视图；

图6A和6B是用于解释通过根据本发明的衬底传输设备将衬底转移到衬底保持器的衬底附装孔中的操作的视图；

图7A和7B是用于解释从衬底抵靠仅一个固定爪时开始直到衬底推靠两个固定爪为止的操作的视图；

图8是示出衬底保持部分的附装位置的另一个示例的视图；

图9是示出通过根据本发明的实施例的磁记录介质制造方法制造的磁记录介质的一个示例的示意性纵向剖视图；

图10是示出根据本发明的实施例的薄膜形成设备(磁记录介质制造设备)的一个示例的示意图；

图11是用于解释根据本发明的实施例的磁记录介质制造方法的顺序的流程图。

具体实施方式

以下将参照附图更加详细地说明用于实施本发明的方式。图1是示出保持衬底的衬底保持器的布置的视图。应当注意到，图1是其上附装有衬底的衬底保持器的正视图。如图1中所示，衬底保持器2a包括：衬底附装孔2b，衬底1附装到该衬底附装孔2b；和两个固定爪6，其将衬底1支承在衬底附装孔2b中。而且，衬底保持器2a还包括：可运动爪7，以允许将衬底1插入到衬底附装孔2b中/从衬底附装孔2b移除衬底1；和可运动爪驱动机构(以下将简称为驱动机构)12，以驱动可运动爪7。

衬底1可以是在中心处包括中心孔的盘状硬盘衬底，如图1中所示。衬底传输机器人(以下将简称为传输机器人)3被操纵，以将包括V形槽的衬底保持部分5插入到衬底1的中心孔中，并且在衬底1被支承在竖直的方位中时传输衬底1。虽然该实施例将举例说明为硬盘衬底，但是本发明不受此限制，而可以被用于支承和传输所有类型的、其中心孔被衬底保持部分支承的衬底。

接下来将参照图1和图2A至2C说明用于通过衬底传输机器人3将衬底1附装至衬底保持器2a的处理。图2A示出其中当衬底1竖直地定向时根据本发明的实施例的衬底传输设备拾取衬底1的状态。图2B示出其中通过枢转衬底传输机器人3而使衬底1朝向衬底保持器2a运动的状态。图2C示出其中衬底1转移到衬底保持器2a的衬底附装孔2b中的状态。