[发明专利]一种钛酸铋钠和铌酸钾钠复合的无铅压电厚膜的制备方法

权利要求书

1.一种钛酸铋钠和铌酸钾钠复合的无铅压电厚膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)、按照Bi_0.5Na_0.5TiO₃的化学计量比，将过量2％摩尔的五水硝酸铋溶于乙二醇甲醚中，室温磁力搅拌，得到硝酸铋溶液；将过量10％摩尔的无水乙酸钠溶于乙二醇甲醚中，同时滴加冰醋酸作为催化剂，室温磁力搅拌，得到乙酸钠溶液；将摩尔比为1∶2的钛酸四正丁酯和乙酰丙酮溶于乙二醇甲醚中，室温磁力搅拌，得到钛酸四正丁酯混合溶液；然后分别将硝酸铋溶液和乙酸钠溶液滴加至钛酸四正丁酯混合溶液中，并在80℃下恒温磁力搅拌，之后自然冷却至室温，得到澄清的钛酸铋钠先驱体溶胶；

(2)、按照K_0.5Na_0.5NbO₃的化学计量比分别称取碳酸钾、碳酸钠和五氧化二铌，以无水乙醇为媒介混合球磨，干燥后压片，然后在1000℃下烧结4小时，得到具有钙钛矿结构的铌酸钾钠坯体，再经破碎、球磨，得到微纳米级铌酸钾钠粉体；

(3)、将微纳米级铌酸钾钠粉体与钛酸铋钠先驱体溶胶混合，其中铌酸钾钠的质量含量为40％～70％，然后加入与钛酸铋钠等摩尔的聚乙烯吡咯烷酮作为稳定分散剂，球磨使之充分分散均匀，再经过磁力搅拌得到稳定的混合浆料；

(4)、采用旋涂工艺将所得的稳定的混合浆料沉积在硅基底上，然后进行热处理工艺，重复上述旋涂工艺-热处理工艺，得到钛酸铋钠和铌酸钾钠复合的无铅压电厚膜；

所述压电厚膜的厚度为1～10μm。

2.根据权利要求1所述的一种钛酸铋钠和铌酸钾钠复合的无铅压电厚膜的制备方法，其特征在于，所述热处理工艺为：先150℃～200℃保温3分钟，再350℃～450℃保温3～10分钟，650℃～750℃退火3～5分钟。

3.根据权利要求1所述的一种钛酸铋钠和铌酸钾钠复合的无铅压电厚膜的制备方法，其特征在于，所述旋涂工艺中，转速为2000～5000转/分钟，旋涂时间为30～50秒。