[发明专利]一种铟掺杂氧化锌靶材及透明导电膜的制备方法

权利要求书

1.一种铟掺杂氧化锌靶材，其特征在于：该靶材由锌、铟氧化物粉体经烧结而成；其中氧化铟的质量含量为0.5-10％；靶材的纯度不低于99.9％；靶材的相对密度不低于95％，最高可达99.5％。

2.权利要求1所述的铟掺杂氧化锌靶材的制备方法，其特征在于：该靶材的制备过程包括以下步骤：

(1).制备好的锌、铟氧化物粉体首先在不锈钢模具经1～50Mpa单轴压预压成型，再经100～300MPa冷等静压成型，然后将成型后的块体在70-150℃下烘干除去成型剂。

(2).烘干后的块体在真空状态下烧结，烧结温度为900-1500℃。

(3).将烧结后的靶材初胚置于纯氧气气氛下进行退火处理，退火温度为800-1200℃。

(4).退火处理后的靶材初胚切割、打磨和安装背板。

3.权利要求2所述的铟掺杂氧化锌靶材的制备方法，其特征在于：烧结该靶材所使用的锌、铟氧化物粉体是由共沉淀法、溶胶-凝胶法、水解法、水热法、微乳液法或固相球磨法制备；制备锌、铟氧化物粉体的过程中添加了质量含量为0-5％的分散剂，分散剂包括聚乙烯醇、聚乙二醇、聚乙烯醇缩丁醛、二辛基琥珀酸磺酸钠，十二烷基苯磺酸钠，甘胆酸钠和吐温等；锌、铟氧化物前驱体干燥后在空气气氛或者氧气气氛下，经400-800℃预烧结，然后进行造粒、过筛即得到了锌、铟氧化物粉体。

4.一种铟掺杂氧化锌透明导电膜，其特征在于：该透明导电膜是采用权利要求1所述的铟掺杂氧化锌靶材经溅射法制备。

5.权利要求4所述的铟掺杂氧化锌透明导电膜，其特征在于：该透明导电膜为六方纤锌矿相结构，电阻率达10^-4Ωcm，最低电阻率7×10^-4Ωcm，在可见光范围400～800nm最高透过率92％，平均透过率不低于84％。

6.权利要求4所述的铟掺杂氧化锌透明导电膜的制备方法，其特征在于：溅射镀膜过程中，工作气体纯氩气混合0-20％氧气组成，压强为0.1～2.0Pa，衬底温度为室温～700℃。