[发明专利]质量流量控制器的测试系统、测试方法、测试用程序

权利要求书

1.一种质量流量控制器的测试系统，其是气体配管系统中的质量流量控制器的测试系统，所述气体配管系统中设置有1个或多个具备质量流量控制器的支流气体管线，且在包含所述支流气体管线的多个气体管线合流之后的合流后气体管线上设置有合流后阀，所述质量流量控制器的测试系统的特征在于包括：

测试用气体管线，具备流量测定机构、流量可变阀以及压力测定机构，且和所述支流气体管线并排设置，并合流于所述合流后气体管线，所述流量测定机构对气体的流量进行测定，所述流量可变阀以使所述流量测定机构所测定的测定流量成为设定流量的方式而对开度进行控制，所述压力测定机构对气体的压力进行测定；

基准容积计算部，在将各支流气体管线关闭、且将所述合流后阀关闭的状态下，根据由所述压力测定机构所测定出的测定压力的时间序列数据来计算出基准容积，所述基准容积为基于流量可变阀、各支流气体管线的关闭部位、及所述合流后阀所规定的配管内的容积；

测试用参数计算部，将具有所要测试的质量流量控制器的支流气体管线以外的支流气体管线在和所述基准容积计算步骤中的所述关闭部位相同的部位上关闭，根据由所述压力测定机构所测定出的测定压力的时间序列数据来计算出测试用参数；以及

比较部，将基于所述基准容积而设定的基准参数和所述测试用参数进行比较。

2.根据权利要求1所述的质量流量控制器的测试系统，其特征在于：

在所述测试用气体管线上设置有具备所述流量测定机构、所述流量可变阀、以及所述压力测定机构的差压式质量流量控制器，且所述压力测定机构兼作所述流量测定机构。

3.一种质量流量控制器的测试系统，其是气体配管系统中的质量流量控制器的测试系统，所述气体配管系统中设置有1个或多个具备质量流量控制器的支流气体管线，且在包含所述支流气体管线的气体管线分流之前的分流前气体管线上设置有分流前阀，所述质量流量控制器的测试系统的特征在于包括：

测试用气体管线，具备流量测定机构、流量可变阀以及压力测定机构，且和所述分流前气体管线连接，并和所述支流气体管线并排设置，所述流量测定机构对气体的流量进行测定，所述流量可变阀以使所述流量测定机构所测定的测定流量成为设定流量的方式而对开度进行控制，所述压力测定机构对气体的压力进行测定；

基准容积计算部，在将各支流气体管线关闭、且将所述分流前阀关闭的状态下，根据由所述压力测定机构所测定出的测定压力的时间序列数据来计算出基准容积，所述基准容积为基于流量可变阀、各支流气体管线的关闭部位、以及所述分流前阀所规定的配管内的容积；

测试用参数计算部，在将具有所要测试的质量流量控制器的支流气体管线以外的支流气体管线在和所述基准容积计算步骤中的所述关闭部位相同的部位上关闭、且将所述流量可变阀及所述分流前阀关闭的状态下，根据由所述压力测定机构所测定出的测定压力的时间序列数据来计算出测试用参数；以及

比较部，将基于所述基准容积而设定的基准参数和所述测试用参数进行比较。

4.一种质量流量控制器的测试方法，其是气体配管系统中的质量流量控制器的测试方法，所述气体配管系统中设置有1个或多个具备质量流量控制器的支流气体管线，且在包含所述支流气体管线的气体管线合流之后的合流后气体管线上设置有合流后阀，所述质量流量控制器的测试方法的特征在于包括：

测试用气体管线设定步骤，在和所述支流气体管线并排设置、并合流于所述合流后气体管线的测试用气体管线上设置流量测定机构、流量可变阀以及压力测定机构，所述流量测定机构对流入到该测试用气体管线中的气体的流量进行测定，所述流量可变阀以使所述流量测定机构所测定的测定流量成为设定流量的方式对开度进行控制，所述压力测定机构对所述测试用气体管线中的气体的压力进行测定；

基准容积计算步骤，在将各支流气体管线关闭、且将所述合流后阀关闭的状态下，根据由所述压力测定机构所测定出的测定压力的时间序列数据来计算出基准容积，所述基准容积为基于流量可变阀、各支流气体管线的关闭部位、以及所述合流后阀所规定的配管内的容积；

测试用参数计算步骤，在将具有所要测试的质量流量控制器的支流气体管线以外的支流气体管线、在和所述基准容积计算步骤中的所述关闭部位相同的部位上关闭、且将所述流量可变阀以及所述合流后阀关闭的状态下，根据由所述压力测定机构所测定出的测定压力的时间序列数据来计算出测试用参数；以及

比较步骤，将基于所述基准容积而设定的基准参数和所述测试用参数进行比较。

5.一种质量流量控制器的测试用程序，其是用以在气体配管系统中对质量流量控制器进行测试的程序，所述气体配管系统中并排设置有支流气体管线和测试用气体管线，且在各支流气体管线以及所述测试用气体管线合流之后的合流后气体管线上设置有合流后阀，所述支流气体管线设置有1个或多个且具备质量流量控制器，所述测试用气体管线具备流量测定机构、流量可变阀以及压力测定机构，所述流量测定机构对气体的流量进行测定，所述流量可变阀以使所述流量测定机构所测定的测定流量成为设定流量的方式对开度进行控制，所述压力测定机构对气体的压力进行测定，且所述质量流量控制器的测试用程序的特征在于包括：

基准容积计算部，在将各支流气体管线关闭、且将所述合流后阀关闭的状态下，根据由所述压力测定机构所测定出的测定压力的时间序列数据来计算出基准容积，所述基准容积为基于流量可变阀、各支流气体管线的关闭部位、以及所述合流后阀所规定的配管内的容积；

测试用参数计算部，在将具有所要测试的质量流量控制器的支流气体管线以外的支流气体管线在和所述基准容积计算步骤中的所述关闭部位相同的部位上关闭、且将所述流量可变阀以及所述合流后阀关闭的状态下，根据由所述压力测定机构所测定出的测定压力的时间序列数据来计算出测试用参数；以及

比较部，将基于所述基准容积而设定的基准参数和所述测试用参数进行比较。