[发明专利]一种树脂镜片、有机玻璃镜片表面超硬涂层镀膜方法

权利要求书

1.一种树脂镜片、有机玻璃镜片表面超硬涂层镀膜方法，其特征在于， 该方法包括下列基本步骤：

(1)预处理：采用去离子水浸泡镜片，用超声波清洗，最后用氮气吹干；

(2)辉光放电清洗：将预处理后的镜片放入镀膜机真空室的工装转台上， 向真空室充入氩气，充至真空室气压为4.0×10^-1Pa，给工装转台加到400V的 起辉电压，此时氩气放电形成离子轰击镜片进行清洗，清洗时间为15分钟；

(3)形成非晶碳薄膜：完成辉光放电清洗后启动过滤电弧离子源，离子 源的工作气压为2×10^-2Pa，电弧电流为80A，石墨靶阴极的碳纯度为99.99％； 通过电弧放电由石墨表面气化出碳原子和碳分子，碳原子和碳分子在放电室 中进一步电离形成碳离子，经过磁过滤装置过滤掉中性碳原子和碳分子，过 滤后的碳离子沉积在镜片的表面，使镜片表面形成超硬的非晶四面体碳薄膜； 所述碳离子沉积是指，偏压采用直流脉冲，电源占宽比为1∶1，偏压幅值为 120V，转台以3r/min的线速度旋转，保证基体涂层横向均匀，磁场扫描线圈 沿镜片的纵向扫描，扫描的频率为50Hz，镜片表面温度≤80C°，镀膜厚度为 50～200nm。

2.根据权利要求1所述的一种树脂镜片、有机玻璃镜片表面超硬涂层镀 膜方法，其特征在于：所述镜片表面形成的非晶四面体碳薄膜为非晶结构， 镀膜中SP³键含量≥85％，镀膜的硬度≥85GPa，摩擦系数为0.08-0.15，薄膜 与镜片之间的结合力为15-20N，镀膜厚度为50-200nm。