[发明专利]基板的保护方法和设备有效

专利信息
申请号: 201010138128.6 申请日: 2010-03-31
公开(公告)号: CN102207648A 公开(公告)日: 2011-10-05
发明(设计)人: 周伟峰;郭建;明星 申请(专利权)人: 北京京东方光电科技有限公司
主分类号: G02F1/1333 分类号: G02F1/1333
代理公司: 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人: 申健
地址: 100176 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 保护 方法 设备
【权利要求书】:

1.一种基板的保护方法,其特征在于,包括:

在基板上形成图形的一侧均匀地覆上一层保护材料;

将覆上了一层保护材料的基板加热,使所述保护材料完全融化;

将所述基板冷却,使融化了的保护材料凝固并形成覆盖所述基板的保护层。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,

在所述将所述基板冷却,使融化了的保护材料凝固并覆盖所述基板形成保护层之后,还包括:

用清洗液清洗所述基板,使所述保护层溶于所述清洗液中。

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,

所述在基板上形成图形的一侧均匀地覆上一层保护材料为:在基板上形成图形的一侧均匀地喷洒一层保护材料,或将所述基板形成图形的一侧朝下放入盛满保护材料的容器中,使所述基板上形成图形的一侧均匀地覆上一层保护材料。

4.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,当将所述基板形成图形的一侧朝下放入盛满保护材料的容器中,使所述基板上形成图形的一侧均匀地覆上一层保护材料时,所述将所述基板冷却,使融化了的保护材料凝固并形成覆盖所述基板的保护层包括:

将所述基板翻转为吸附了保护材料的一侧朝上;

将所述基板冷却,使融化了的保护材料凝固并覆盖所述基板形成保护层。

5.根据权利要求1-4任一权利要求所述的方法,其特征在于,

所述保护材料为粉末状的葡萄糖、果糖、聚乙烯醇或十二烷基苯磺酸钠。

6.一种基板的保护设备,其特征在于,包括:

涂敷单元,用于在基板上形成图形的一侧均匀地覆上一层保护材料;

加热单元,用于将覆上了一层保护材料的基板加热,使所述保护材料完全融化;

冷却单元,用于将所述基板冷却,使融化了的保护材料凝固并形成覆盖所述基板的保护层。

7.根据权利要求6所述的设备,其特征在于,

所述涂敷单元包括:用于喷洒所述保护材料的喷嘴;

所述加热单元包括:用于容置并加热所述基板的加热腔体。

8.根据权利要求7所述的设备,其特征在于,

所述加热腔体设置有容置多块基板的隔层。

9.根据权利要求8所述的设备,其特征在于,

所述喷嘴设置于所述加热腔体对应每个隔层上方的入口处。

10.根据权利要求6所述的设备,其特征在于,

所述涂敷单元包括:盛满所述保护材料的容器;

所述加热单元包括:吸附并加热所述基板的吸板。

11.根据权利要求10所述的设备,其特征在于,

所述容器内设置有搅拌叶片。

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