[发明专利]基板的保护方法和设备有效
申请号: | 201010138128.6 | 申请日: | 2010-03-31 |
公开(公告)号: | CN102207648A | 公开(公告)日: | 2011-10-05 |
发明(设计)人: | 周伟峰;郭建;明星 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | G02F1/1333 | 分类号: | G02F1/1333 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100176 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 保护 方法 设备 | ||
1.一种基板的保护方法,其特征在于,包括:
在基板上形成图形的一侧均匀地覆上一层保护材料;
将覆上了一层保护材料的基板加热,使所述保护材料完全融化;
将所述基板冷却,使融化了的保护材料凝固并形成覆盖所述基板的保护层。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,
在所述将所述基板冷却,使融化了的保护材料凝固并覆盖所述基板形成保护层之后,还包括:
用清洗液清洗所述基板,使所述保护层溶于所述清洗液中。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,
所述在基板上形成图形的一侧均匀地覆上一层保护材料为:在基板上形成图形的一侧均匀地喷洒一层保护材料,或将所述基板形成图形的一侧朝下放入盛满保护材料的容器中,使所述基板上形成图形的一侧均匀地覆上一层保护材料。
4.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,当将所述基板形成图形的一侧朝下放入盛满保护材料的容器中,使所述基板上形成图形的一侧均匀地覆上一层保护材料时,所述将所述基板冷却,使融化了的保护材料凝固并形成覆盖所述基板的保护层包括:
将所述基板翻转为吸附了保护材料的一侧朝上;
将所述基板冷却,使融化了的保护材料凝固并覆盖所述基板形成保护层。
5.根据权利要求1-4任一权利要求所述的方法,其特征在于,
所述保护材料为粉末状的葡萄糖、果糖、聚乙烯醇或十二烷基苯磺酸钠。
6.一种基板的保护设备,其特征在于,包括:
涂敷单元,用于在基板上形成图形的一侧均匀地覆上一层保护材料;
加热单元,用于将覆上了一层保护材料的基板加热,使所述保护材料完全融化;
冷却单元,用于将所述基板冷却,使融化了的保护材料凝固并形成覆盖所述基板的保护层。
7.根据权利要求6所述的设备,其特征在于,
所述涂敷单元包括:用于喷洒所述保护材料的喷嘴;
所述加热单元包括:用于容置并加热所述基板的加热腔体。
8.根据权利要求7所述的设备,其特征在于,
所述加热腔体设置有容置多块基板的隔层。
9.根据权利要求8所述的设备,其特征在于,
所述喷嘴设置于所述加热腔体对应每个隔层上方的入口处。
10.根据权利要求6所述的设备,其特征在于,
所述涂敷单元包括:盛满所述保护材料的容器;
所述加热单元包括:吸附并加热所述基板的吸板。
11.根据权利要求10所述的设备,其特征在于,
所述容器内设置有搅拌叶片。
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