[发明专利]用于高流速真空起泡器容器的防溅器

权利要求书

1.一种贮存器，具有：终止在所述贮存器底部邻近处的浸管入口；定位在所述浸管的所述出口和所述贮存器的出口之间的至少一个挡盘，其被配置成在所述挡盘和所述贮存器侧壁内表面之间提供狭窄的环状空间；以及在所述侧壁上的径向向内伸出的环状偏转突出部，其邻近所述挡盘；所述挡盘和所述偏转突出部能够使液滴减至最少，以免其进入贮存器出口。

2.如权利要求1所述的贮存器，其特征在于，所述偏转突出部具有最内边缘，所述最内边缘位于所述至少一个挡盘的最外边缘的径向内侧。

3.如权利要求2所述的贮存器，其特征在于，所述偏转突出部在其最内边缘下方具有肩部，其中所述肩部从所述贮存器侧壁内表面径向向内伸出，但所述肩部的径向向内伸出部分比所述偏转突出部的最内边缘在径向上更短。

4.如权利要求3所述的贮存器，其特征在于，所述至少一个挡盘、所述偏转突出部、以及所述肩部都处于所述贮存器的上部中。

5.如权利要求1所述的贮存器，其特征在于，所述偏转突出部被轴向间隔地设置在上挡盘和下挡盘之间。

6.如权利要求1所述的贮存器，其特征在于，所述偏转突出部被轴向间隔地设置在两个挡盘的下方。

7.如权利要求1所述的贮存器，其特征在于，通向贮存器出口的入口具有能使进入贮存器出口的液体减至最少的肘状构造。

8.如权利要求1所述的贮存器，其特征在于，通向贮存器出口的入口具有能使进入贮存器出口的液体减至最少的T形构造。

9.如权利要求1所述的贮存器，其特征在于，所述贮存器具有圆筒形状。

10.如权利要求1所述的贮存器，其特征在于，所述挡盘具有圆形且向下凹的形状。

11.一种圆筒形蒸气生成贮存器，具有：能够将载气输送到所述贮存器的浸管入口；具有圆形且向下凹的形状的挡盘，其定位在所述浸管入口的出口端和所述贮存器的出口之间，并且被配置成在所述挡盘的最外周向边缘和所述贮存器的侧壁的内表面之间提供狭窄的环状空间；以及在所述侧壁上径向向内伸出的环状偏转突出部，其邻近所述挡盘，其中所述偏转突出部具有的最内边缘处于所述挡盘的最外周向边缘的径向内侧；当所述载气穿过所述贮存器中的液体成分起泡以便将所述液体作为来自所述贮存器的蒸气进行分配时，能够使液滴减至最少，以免其进入贮存器出口。

12.一种液体分配贮存器，具有：至少一个挡盘，所述至少一个挡盘定位在所述浸管出口的入口端和所述液体分配贮存器的入口之间，并且被配置成在所述挡盘和所述贮存器侧壁内表面之间提供狭窄的环状空间；以及在所述侧壁上的径向向内伸出的环状偏转突出部，其邻近所述挡盘；其中，所述偏转突出部具有的最内边缘处于所述挡盘的最外边缘的径向内侧，能够使液滴减至最少，以免其进入液体分配贮存器入口。

13.一种从贮存器中输送化学前体蒸气的方法，包括：使载气通过所述贮存器的浸管；将所述贮存器中的液态化学前体携带到所述载气中；使所述载气和所携带的化学前体在狭窄的环状空间内通过贮存器侧壁上的径向向内伸出的环状偏转突出部和至少一个挡盘，其中所述狭窄的环状空间在所述挡盘的最外缘和所述贮存器侧壁的内表面之间。

14.如权利要求13所述的方法，其特征在于，所述偏转突出部具有最内边缘，所述最内边缘处于所述挡盘的最外边缘的径向内侧。

15.如权利要求14所述的方法，其特征在于，所述偏转突出部在其最内边缘下方具有肩部，其中所述肩部从所述贮存器侧壁的内表面径向向内伸出，但是所述肩部的径向向内伸出部分比所述偏转突出部的最内边缘在径向上更短，所述肩部引导所有液体化学品远离所述挡盘。

16.如权利要求15所述的方法，其特征在于，所述携带有液态化学前体的载气被从所述贮存器输送到具有肘状构造的出口中。

17.如权利要求15所述的方法，其特征在于，所述携带有液态化学前体的载气被从所述贮存器输送到具有T形构造的出口中。

18.一种从贮存器中输送液态化学前体的方法，包括：在所述贮存器内的液态化学前体液面上方将加压气体引入到通向所述贮存器的入口中，其中所述加压气体在狭窄的环状空间内经过至少一个挡盘，所述狭窄的环状空间位于所述挡盘的最外缘和所述贮存器侧壁内表面之间，并且所述加压气体还经过所述侧壁上的径向向内伸出的邻近所述挡盘的环状偏转突出部。