[发明专利]具有集成式光学结构的空间光调制器

说明书

分案申请的相关信息

本申请为发明名称为“快闪存储器数据校正及擦除技术”的原中国发明专利申请的分案申请。原申请的申请号为200580003812.0；原申请的申请日为2005年2月2日。

相关申请案交叉参考

本申请案为一在2005年1月14日提出申请的第11/036,965号美国专利申请案的接续申请案，第11/036,965号美国专利申请案主张基于下列美国临时专利申请案的优先权：2004年2月3日提出申请的第60/541,607号美国临时专利申请案；2004年9月27日提出申请的第60/613,482号美国临时专利申请案；2004年9月27日提出申请的第60/613,536号美国临时专利申请案；及2004年9月27日提出申请的第60/613,542号美国临时专利申请案。

技术领域

本发明涉及对例如干涉式调制器等空间光调制器的制造及性能的改良。

背景技术

空间光调制器为显示装置，其包含由可单独寻址的光调制元件形成的阵列。空间光调制器的实例包括液晶显示器及干涉式调制器阵列。此种装置中的光调制元件通常通过改变经由各单独元件所反射或透射的光的特性，从而改变显示外观来起作用。

发明内容

随着空间光调制器变得越来越先进，本发明的发明者预计与通过当前制造工艺流程制作空间光调制器相关的困难也会随之增大。因此，本发明的发明者已开发出具有集成式光学补偿结构的空间光调制器及其制作方法。

一实施例提供一种空间光调制器，其包括：一衬底；复数个布置于所述衬底上并经构造以调制光的可单独寻址的光调制元件；及一光学补偿结构；其中所述光学补偿结构布置于所述衬底与所述复数个可单独寻址的光调制元件之间。在某些实施例中，所述光学补偿结构为一无源式光学补偿结构。

一实施例提供一种空间光调制器，其包括：一衬底；复数个布置于所述衬底上并经构造以调制光的可单独寻址的光调制元件；及一光学补偿结构；其中所述复数个可单独寻址的光调制元件布置于所述衬底与所述光学补偿结构之间。所述光学补偿结构包括一滤色镜、黑色掩膜、及抗反射层中的至少一者。

另一实施例提供一种制作一空间光调制器的方法，所述方法包括：在一透明衬底上制作一光学补偿结构；并在所述光学补偿结构上制作复数个可单独寻址的光调制元件，所述可单独寻址的光调制元件经构造以调制经由所述透明衬底透射的光。在某些实施例中，制作所述光学补偿结构包括制作一无源式光学补偿结构。

另一实施例提供一种用以制作一空间光调制器的方法，所述方法包括：在一衬底上制作复数个可单独寻址的光调制元件；并在所述复数个可单独寻址的光调制元件上制作一光学补偿结构，所述可单独寻址的光调制元件经构造以调制经由所述光学补偿结构透射的光。所述光学补偿结构包括一滤色镜、掩膜、及抗反射层中的至少一者。

另一实施例提供一种空间光调制器，其包括：一透明衬底；复数个布置于所述透明衬底上并经构造以调制经由所述透明衬底透射的光的可单独寻址的干涉式光调制元件，所述干涉式光调制元件包括一空腔及一可移动壁；及至少一布置于所述透明衬底与所述复数个可单独寻址的干涉式光调制元件之间的光学补偿结构，所述光学补偿结构包括一滤色镜或漫射体。

另一实施例提供一种空间光调制器，其包括：一衬底；一用于调制透射过所述衬底或自所述衬底反射的光的构件；一用于补偿透射过所述衬底或自所述衬底反射的所述光的构件；其中所述用于补偿所述光的构件以操作方式布置于所述衬底与所述用于调制透射过所述衬底或自所述衬底反射的光的构件之间。在某些实施例中，所述用于补偿透射过所述衬底或自所述衬底反射的所述光的构件为一用于以无源方式补偿透射过所述衬底或自所述衬底反射的所述光的构件。

另一实施例提供一种空间光调制器，其包括：一衬底；一用于调制透射过所述衬底或自所述衬底反射的光的构件；及一用于补偿透射过所述衬底或自所述衬底反射的所述光的构件；其中所述用于调制透射过所述衬底或自所述衬底反射的光的构件以操作方式布置于所述衬底与所述用于补偿所述光的构件之间。所述用于补偿透射过所述衬底或自所述衬底反射的所述光的构件包括一滤色镜、黑色掩膜、及抗反射层中的至少一者。

另一实施例提供一种根据一种方法制成的空间光调制器，所述方法包括：在一透明衬底上制作一光学补偿结构；并在所述光学补偿结构上制作复数个可单独寻址的光调制元件，所述可单独寻址的光调制元件经构造以调制透射过所述透明衬底的光。