[发明专利]具穿透照明的工作台

权利要求书

1.一种穿透照明用工作台，其特征在于包含：

红外光源；

金属制的小工作台，其在下部安装着可动机构，并且在上部形成有载置上工作台的工作台载置面；以及

由红外穿透性材料形成的上工作台，其具有和所述小工作台的工作台载置面为面接触的底面、以面接触状态载置衬底的整个背面的上表面、及所述红外光源的红外光所入射的入射侧面；并且

在所述上工作台的内部且载置有所述衬底的位置下方，设置使从所述入射侧面入射的红外光向上表面反射的反射面，

所述红外光穿透构成上工作台的红外穿透性材料而照射到衬底。

2.根据权利要求1所述的穿透照明用工作台，其特征在于：

所述反射面是由金属块的表面形成，所述金属块埋入在切除上工作台的一部分而形成的空间。

3.根据权利要求1所述的穿透照明用工作台，其特征在于：

所述反射面是将红外光反射膜设置在切除上工作台的一部分而形成的倾斜面上而成。

4.根据权利要求1所述的穿透照明用工作台，其特征在于：

所述反射面包含由通过激光照射而在上工作台的一部分上制成的反射屏幕。