[发明专利]镀膜旋转装置及镀膜设备

权利要求书

1.一种镀膜旋转装置，用于带动多个待镀膜的基材转动，其包括一个旋转台及一个圆柱状的承载杆，所述旋转台包括一个圆筒状的本体及一根沿所述本体的直径方向转动设置于所述本体内的旋转杆，所述承载杆用于附设所述基材，其包括相对设置的第一端及第二端，所述第一端开设一个切面，从所述切面沿承载杆的轴向朝第二端延伸有一个卡槽，所述承载杆能够伸入所述本体内并在所述切面与所述旋转杆的配合下使所述旋转杆卡入所述卡槽以耦合所述承载杆与所述旋转台。

2.如权利要求1所述的镀膜旋转装置，其特征在于，所述切面为呈椭圆形的斜切面，且所述切面以与所述第一端呈锐角的方向斜切而形成，所述卡槽从所述椭圆形的斜切面的短轴位置沿承载杆的轴向朝第二端延伸。

3.如权利要求1所述的镀膜旋转装置，其特征在于，所述切面呈圆形，且所述切面沿垂直于所述承载杆开设，所述卡槽从所述圆形切面的直径方向朝所述第二端延伸，且所述卡槽的开口逐渐减小。

4.如权利要求1所述的镀膜旋转装置，其特征在于，所述承载杆还包括一个圆环状的凸缘，所述凸缘位于所述第一端及第二段之间，且沿着所述承载杆的直径方向向外延伸，当所述承载杆与所述旋转杆耦合后，所述凸缘卡设在所述旋转台的本体上。

5.一种利用如权利要求1所述的镀膜旋转装置的镀膜设备，其还包括两个腔室、一个闸门、两个第一传输回路、两个第二传输回路、多个所述镀膜旋转装置、一个夹持装置及一个控制器；所述闸门用于在镀膜时隔开并在镀膜完成后连通所述两个腔室；所述两个第一传输回路及第二传输回路分别设置在所述两个腔室的顶部及底部；所述多个旋转台分别设置在所述两个第一个传输回路上；所述第一传输回路用于在镀膜过程中驱动所述旋转台进行旋转，同时带动所述旋转台沿着所述第一传输回路运动；所述第二传输回路用于在镀膜过程中带动所述多个承载杆沿着所述第二传输回路运动；所述夹持装置位于其中一个腔室内，用于每个承载杆运动至所述闸门时将所述承载杆与所述旋转台分离并将所述承载杆在不同的腔室间进行传递；所述控制器用于控制所述闸门的开闭及所述夹持装置的动作，同时还控制所述第一传输回路及所述第二传输回路的运动，使得所述闸门打开时，所述夹持装置将位于闸门处的承载杆移动到另一个腔室，然后所述第一、第二传输回路运动，从而带动下一个承载杆运动到所述闸门处，所述夹持装置将下一个承载杆移动另一个腔室中。

6.如权利要求5所述的镀膜设备，其特征在于，所述夹持装置包括一个基座及至少一个机械手臂，所述机械手臂能够相对于所述基座做伸缩运动。

7.如权利要求5所述的镀膜设备，其特征在于，所述第二传输回路及所述第一传输回路均为圆环状，且所述第二传输回路的半径与所述第一传输回路的半径相等。