[发明专利]镀膜旋转装置及镀膜设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种镀膜旋转装置及镀膜设备。

背景技术

双腔真空镀膜设备设有两个腔室，以供基材分别在两个腔室中进行镀膜。一般地，基材附设在一根承载杆上，承载杆挂设在一个跨设两个腔室的传输机构上。基材在一个腔室镀完膜后，承载杆通过传输机构进入另一个腔室，以便基材进一步镀膜。一般地，两个镀膜室还分别设置有旋转台，以与承载杆耦合，驱动承载杆转动，使得镀膜均匀。现有的旋转台呈圆筒状，并在顶端边缘开设有卡槽。承载杆可伸入旋转台内，且伸入旋转台的一端沿承载杆的径向延伸有卡销。承载杆伸入旋转台时，卡销卡入卡槽内，完成承载杆与旋转台的耦合。然而，卡销与卡槽的对准很难实现、费时，导致镀膜效率低下。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种高效率的镀膜旋转装置及镀膜设备。

一种镀膜旋转装置，用于带动多个待镀膜的基材转动，其包括一个旋转台及一个圆柱状的承载杆。所述旋转台包括一个圆筒状的本体及一根沿所述本体的直径方向转动设置于所述本体内的旋转杆。所述承载杆用于附设所述多个基材，其包括相对设置的第一端及第二端。所述第一端开设一个切面，从所述切面沿承载杆的轴向朝第二端延伸有一个卡槽。所述承载杆能够伸入所述本体内并在所述切面与所述旋转杆的配合下使所述旋转杆卡入所述卡槽以耦合所述承载杆与所述旋转台。

一种利用上述镀膜旋转装置的镀膜设备，其还包括两个腔室、一个闸门、两个第一传输回路、两个第二传输回路、多个所述镀膜旋转装置、一个夹持装置及一个控制器。所述闸门用于在镀膜时隔开并在镀膜完成后连通所述两个腔室。所述两个第一传输回路及第二传输回路分别设置在所述两个腔室的顶部及底部。所述多个旋转台分别设置在所述两个第一个传输回路上。所述第一传输回路用于在镀膜过程中驱动所述旋转台进行旋转，同时带动所述旋转台沿着所述第一传输回路运动。所述第二传输回路用于在镀膜过程中带动所述多个承载杆沿着所述第二传输回路运动。所述夹持装置位于其中一个腔室内，用于每个承载杆运动至所述闸门时将所述承载杆与所述旋转台分离并将所述承载杆在不同的腔室间进行传递。所述控制器用于控制所述闸门的开闭及所述夹持装置的动作，同时还控制所述第一传输回路及所述第二传输回路的运动，使得所述闸门打开时，所述夹持装置将位于闸门处的承载杆移动到另一个腔室，然后所述第一、第二传输回路运动，从而带动下一个承载杆运动到所述闸门处，所述夹持装置将下一个承载杆移动另一个腔室中。

本发明的镀膜旋转装置及镀膜设备，在承载杆与旋转台在进行耦合时，所述承载杆的第一端插入所述旋转台，导致所述切面先与所述旋转杆接触，使所述旋转杆转动，并在所述旋转杆转动过程中调整所述承载杆的方向，从而带动所述承载杆滑入所述卡槽内，有效防止所述承载杆不能顺利与所述旋转台耦合的情况，大大提高生产效率。

附图说明

图1是本发明较佳实施方式的镀膜设备的侧视图；

图2是图1的镀膜设备的俯视图；

图3是图1的镀膜设备的镀膜旋转装置的结构示意图；

图4是图1的镀膜设备的镀膜旋转装置的局部剖视图；

图5是图1的镀膜设备的镀膜旋转装置的另一状态的局部剖视图。

主要元件符号说明

镀膜设备            1

第一腔室            11

第二腔室            12

闸门                13

第一传输回路        21

第二传输回路        22

镀膜旋转装置        30

旋转台            31

本体              311

旋转杆            312

承载杆            35

第一端            351

第二端            352

斜切面            353

卡槽              355

凸缘              357

夹持装置          40

基座              41

机械手臂          42

控制器            50

基材              2

具体实施方式

下面将结合附图，对本发明作进一步的详细说明。