[发明专利]一种硅晶切割废液的处理方法及碳化硅漂洗装置无效

专利信息
申请号: 201010142965.6 申请日: 2010-04-08
公开(公告)号: CN101857229A 公开(公告)日: 2010-10-13
发明(设计)人: 罗其洋;陈云根 申请(专利权)人: 浙江源盛硅晶材料有限公司
主分类号: C01B31/36 分类号: C01B31/36;C08G65/34
代理公司: 杭州裕阳专利事务所(普通合伙) 33221 代理人: 应圣义
地址: 312300 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 切割 废液 处理 方法 碳化硅 漂洗 装置
【权利要求书】:

1.一种硅晶切割废液的处理方法,其特征在于它包括以下步骤:

A)在硅晶切割废液中加水稀释、搅拌,配成混合料,再用磁铁吸出混合料中的金属铁;

B)在混合料加入絮凝剂,反应结束后采用离心分离机进行分离,得到以碳化硅为主要成分的固体物以聚乙二醇为主要成分的液体;所述固体物中还含有少量的硅;所述絮凝剂的加入量为切割废液质量的0.02~0.1%;所述絮凝剂是聚丙烯酰胺与硅藻土以1∶5~15质量比的混合物;

C)在固体物中加水稀释成碳化硅悬浊液,在碳化硅悬浊液中加入氢氧化钠至pH值为11~13,加热到60~90℃进行反应,反应结束后在碳化硅漂洗装置中用水清洗至pH值到7~8,再加入酸至pH值为1~4,在碳化硅漂洗装置中用水清洗至pH值到6.5~7,得到碳化硅粗品;

D)对碳化硅粗品进行离心分离,干燥后得到碳化硅成品;

E)对步骤B得到的液体进行过滤,对过滤后的液体加热蒸发脱水后得到聚乙二醇成品。

2.根据权利要求1所述的硅晶切割废液的处理方法,其特征在于所述步骤E中,对过滤后的液体加热蒸发脱水是在0.05~0.1MPa的压力环境下,加热至50~150℃完成。

3.根据权利要求1或2所述的硅晶切割废液的处理方法,其特征在于对步骤D得到的碳化硅成品还根据其粒径进行分级处理。所述分级处理是采用气流分级机分级。

4.根据权利要求1所述的硅晶切割废液的处理方法,其特征在于所述步骤C中加入氢氧化钠是氢氧化钠水溶液;所述酸是硫酸水溶液或盐酸水溶液。

5.根据权利要求1所述的硅晶切割废液的处理方法,其特征在于所述步骤D中对碳化硅粗品的离心分离是采用刮刀式离心机进行分离。

6.根据权利要求1所述的硅晶切割废液的处理方法的碳化硅漂洗装置,其特征在于它包括漂洗桶(1),所述漂洗桶(1)的下部为圆锥体,所述漂洗桶(1)侧壁上不同高度设有若干个滗水口(2),所述漂洗桶(1)的圆锥形端部设有进水管(3),所述漂洗桶(1)的圆锥体内设有布水器(4),所述进水管(3)与布水器(4)连通,所述漂洗桶(1)的圆锥体上还设有出料管(5);所述漂洗桶(1)壁上还设有进气口(6),所述漂洗桶(1)设有气管(7),所述进气口(6)与气管(7)连通,所述气管(7)安装有若干个微孔布气头(8)。

7.根据权利要求6所述的碳化硅漂洗装置,其特征在于所述进水管(3)在漂洗桶(1)内向下弯折。

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