[发明专利]光学元件的轴向定位保持装置有效
申请号: | 201010149223.6 | 申请日: | 2010-04-16 |
公开(公告)号: | CN102221786A | 公开(公告)日: | 2011-10-19 |
发明(设计)人: | 崔建波;王洪尊;刘宝会 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G02B7/02 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 元件 轴向 定位 保持 装置 | ||
1.一种光学元件的轴向定位保持装置,其特征在于,包括透镜,可调镜座,安装基座和多个挠性柱,所述透镜装设于所述可调镜座上,所述可调镜座和所述安装基座分别具有相对应的多个第一连接孔和第二连接孔,所述多个挠性柱通过所述多个第一连接孔和第二连接孔将所述可调镜座和所述安装基座连接在一起;
其中,所述挠性柱包括沿轴向延伸的主体部分、其上端的螺纹圆柱端和下端的安装座,所述主体部分与上端螺纹圆柱端和下端安装座分别通过过渡部分相连接,所述过渡部分包括第一挠性部分、第二挠性部分和两者之间的圆柱部分,第一挠性部分和第二挠性部分的每一挠性部分由所述挠性柱的主体部分的两侧各自沿径向方向向内铣去后所得到的具挠性的薄片;
其中,第一挠性部分和第二挠性部分沿轴向各自定义第一中心面和第二中心面,第一中心面和第二中心面在延伸后相交。
2.根据权利要求1所述的光学元件的轴向定位保持装置,其特征在于,所述第一中心面和第二中心面在延伸后相互垂直。
3.根据权利要求1所述的光学元件的轴向定位保持装置,其特征在于,所述上端螺纹圆柱端的直径小于所述主体部分的直径。
4.根据权利要求1所述的光学元件的轴向定位保持装置,其特征在于,所述第二连接孔的直径大于所述主体部分的直径。
5.根据权利要求1所述的光学元件的轴向定位保持装置,其特征在于,所述安装座具有安装孔,通过螺钉将所述安装座固定于所述安装基座下端。
6.根据权利要求1所述的光学元件的轴向定位保持装置,其特征在于,所述上端螺纹圆柱端和过渡部分之间具有上部轴肩,所述上部轴肩与可调镜座之间设置有调节垫片。
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