[发明专利]光学元件的轴向定位保持装置

说明书

技术领域

本发明涉及光刻领域，且特别涉及一种光学元件的轴向定位保持装置。

背景技术

先进光刻机曝光设备中的投影光学系统需要越来越小的波相差和畸变，同时在这种投影光学系统的曝光设备中，可以实时并容易地对由各种环境及其它因素导致的相差和畸变的变化进行补偿。这就需要在曝光设备中设置补偿机构以及定位保持机构。

为了解决这一类问题，一般采用设置一个或几个镜片位置可调的方式进行轴向或径向的补偿。在对径向进行补偿的时候，期望可调镜片在轴向的位置保持不变或变化非常微小。

美国专利US20040214483A1中的柔性连杆机构，虽然能够方便的调节镜片在径向上的位置，但该结构较为复杂，且安装操作不方便，镜片轴向位置的调节和确定也不方便。

发明内容

本发明提出一种光学元件的轴向定位保持装置，该装置结构简单，易于加工，安装操作方便快捷，定位精确，稳定可靠。

为了达到上述目的，本发明提出一种光学元件的轴向定位保持装置，包括透镜，可调镜座，安装基座和多个挠性柱，所述透镜装设于所述可调镜座上，所述可调镜座和所述安装基座分别具有相对应的多个第一连接孔和第二连接孔，所述多个挠性柱通过所述多个第一连接孔和第二连接孔将所述可调镜座和所述安装基座连接在一起；

其中，所述挠性柱包括沿轴向延伸的主体部分、其上端的螺纹圆柱端和下端的安装座，所述主体部分与上端螺纹圆柱端和下端安装座分别通过过渡部分相连接，所述过渡部分包括第一挠性部分、第二挠性部分和两者之间的圆柱部分，第一挠性部分和第二挠性部分的每一挠性部分由所述挠性柱的主体部分的两侧各自沿径向方向向内铣去后所得到的具挠性的薄片；

其中，第一挠性部分和第二挠性部分沿轴向各自定义第一中心面和第二中心面，第一中心面和第二中心面在延伸后相交。

进一步的，第一挠性部分和第二挠性部分各自的第一中心面和第二中心面在延伸后相互垂直。

本发明提出的光学元件的轴向定位保持装置，利用挠性柱进行轴向定位，其具有上下两处挠性特征，在轴向方向上，挠性柱具有足够的刚度和强度；在径向方向上，圆柱体主体部分具有很大的刚度，在上下两处过渡部分由于挠性部分的存在，其刚度很小，在受力情况下很容易发生弹性变形。因此，利用本发明提出的光学元件的轴向定位保持装置，可以在确保轴向定位保持的情况下，可具有径向调整的功能。

附图说明

图1所示为本发明较佳实施例的轴向定位保持装置分解示意图。

图2所示为本发明较佳实施例的轴向定位保持装置俯视图。

图3所示为图2中轴向定位保持装置沿A-A方向的半剖图。

图4所示为本发明较佳实施例的挠性柱结构示意图。

具体实施方式

为了更了解本发明的技术内容，特举具体实施例并配合所附图式说明如下。

本发明提出一种光学元件的轴向定位保持装置，该装置结构简单，易于加工，安装操作方便快捷，定位精确，稳定可靠。

请参考图1，图1所示为本发明较佳实施例的轴向定位保持装置分解示意图。本发明提出一种光学元件的轴向定位保持装置，包括透镜2，可调镜座3，安装基座5和多个挠性柱6，所述透镜2装设于所述可调镜座3上，所述可调镜座2和所述安装基座5分别具有相对应的多个第一连接孔10和第二连接孔20，所述多个挠性柱6通过所述多个第一连接孔10和第二连接孔20将所述可调镜座3和所述安装基座5连接在一起；