[发明专利]一种基板超声波清洗机无效
| 申请号： | 201010149639.8 | 申请日： | 2010-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN101804407A | 公开（公告）日： | 2010-08-18 |
| 发明（设计）人： | 姚建梁 | 申请（专利权）人： | 姚建梁 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;H01L21/302 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 陈慧珍 |
| 地址： | 214174 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 超声波 清洗 | ||
【权利要求书】：
1.一种基板超声波清洗机，其包括超声波振荡装置、超声波冲洗装置、冲洗液供给装置以及保持机架，所述超声波冲洗装置内设置压电振子，其特征在于：所述冲洗装置与保持机架之间设置有超声波传播体，所述超声波传播体与保持机架之间设置冲洗液供给装置。
2.根据权利要求1所述的基板超声波清洗机，其特征在于：所述超声波传播体为不等边四边形棱锥体结构，且其一端连接超声波冲洗装置，另一端与保持机架之间有隔离空间。
3.根据权利要求1或2所述的任一种基板超声波清洗机，其特征在于：所述超声波传播体由反射效率高的水晶，石英，不锈钢等材料来构成。
4.根据权利要求3所述的基板超声波清洗机，其特征在于：所述压电振子可为凹面球型振子或扩散型平板振子。
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