[发明专利]一种基板超声波清洗机

说明书

技术领域

本发明涉及一种清洗设备，特别是涉及一种用于冲洗LCD基板或者半导体晶片等薄板状物体的基板超声波清洗机。

背景技术

目前，用于清洗半导体芯片的基板超声波清洗机，一般在超声波振子和被洗净物之间设置缝隙，在这条缝隙供给冲洗液来洗涤半导体芯片及液晶基板，且在冲洗槽的底部配置了超声波振子，所述超声波振子和冲洗的管嘴紧密设置在一起，为在管嘴喷射的冲洗液里安放超声波振子，超声波的能量密度在管嘴被高度集中和体积微小化，而超声波能量的聚焦以及声压力的强弱非均一性，也使超声波在接近被洗净物表面时被扩散，经常出现被洗净物冲洗不好或者被损坏的问题。

为解决这样的问题，有一些超声波冲洗装置它设置一个超声波扩散的倾斜扩散面，切断棒状形态传播的超声波，在此端面相对的另一端安装压电振子，与被洗净物面对面且保持微小的间隔距离安装扩散面，冲洗液从侧面流入，洗涤被洗净物；也有一些超声波冲洗装置它设置中空部，提高超声波的分散扩散以及均一性，在超声波传播中被倾斜地切断了的棒状的压电振子安装面的附近设立透镜，但是这样的结构设计同样使得超声波压力能量在扩散面里缺少安定性和均一性，并且不能完全抑制特定部位的音波的强度变大的发生，被洗净物在特定部位上也很容易被损坏。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基板超声波清洗机，所述基板超声波清洗机具有结构简单，冲洗效果好以及可有效控制洗涤物被损坏的特点。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现：

一种基板超声波清洗机，其包括超声波振荡装置、超声波冲洗装置以及保持机架，所述冲洗装置内设置压电振子，其中，所述超声波冲洗装置与保持机架之间设置有超声波传播体，所述超声波传播体与保持机架之间设置冲洗液供给装置。

所述超声波传播体为不等边四边形棱锥体结构，且其一端连接超声波冲洗装置，另一端与保持机架之间有隔离空间。

所述超声波传播体由反射效率高的水晶，石英，不锈钢等材料来构成。

所述压电振子可为凹面球型振子或扩散型平板振子。

本发明的有益效果为，所述基板超声波清洗机于冲洗装置与保持机架之间设置有不等边四边形棱锥体结构的超声波传播体，使超声波扩散面的能量强度具有均一性，不仅结构简单，而且冲洗效果好，可有效控制洗涤物被损坏。

附图说明

下面根据附图和实施例对本发明作进一步详细说明。

图1为本发明基板超声波清洗机的结构示意图，

图2为本发明基板超声波清洗机的局部放大图。

图中：

1、超声波冲洗装置；2、压电振子；3、超声波振荡器；4、超声波传播体；5、冲洗液供给装置；6、保持机架；7、外盖；8、洗涤物。

具体实施方式

请参阅图1和图2所示，图1为本发明基板超声波清洗机的结构示意图，图2为本发明基板超声波清洗机的局部放大图。

于本实施例中，所述基板超声波清洗机2包括超声波冲洗装置1，所述超声波冲洗装置1内设置有凹面球型压电振子2，所述压电振子2与超声波振荡器3电性连接，且所述超声波冲洗装置1外设置有外盖7，且所述超声波冲洗装置1上还设置不等边四边形棱锥体结构的超声波传播体4，所述超声波传播体4由反射效率高的水晶，石英，不锈钢等材料来构成，且所述超声波传播体4与保持机架6之间设置冲洗液供给装置5，所述超声波冲洗装置1可与保持机架6保持相对平行的平稳移动。

洗涤时，将洗涤物8放置于保持机架6之上，超声波振荡器3给压电振子2高频电压，使压电振子2的振动形成的超声波的在超声波传播体4内表面传播被持续，以不等边四边形棱锥体的内表面作为传播体，并且当压电振子2发出来了的超声波被底面反射的时候，超声波正被面积倍增的不等边四边形棱锥体形状的超声波传播体4大大地集中了，作为压电振子2扩散面的底面被均一分布，这样超声波能量及超声压力在超声波传播体4内变得均一，能量集中被抑制，并且变得被扩散分布了，超声波在被洗净物8周围传播开来，所述超声波冲洗装置1与保持机架6保持相对平行的平稳移动，同时冲洗液供给装置5同步喷出洗涤剂，对被洗净物8进行洗涤，当被洗净物8冲洗结束了的时候，停止高频电压的施加并停止冲洗液的供给，取出被洗净物8，冲洗结束。