[发明专利]一种微熔粘接应变片的方法

说明书

技术领域

本发明属于半导体硅应变片传感器制造领域，尤其涉及一种微熔粘接应变片的方法。

背景技术

应变片的工作原理是当外部环境有力、光、温度、湿度等因素影响应变片时，会引起应变片的电阻、电感、电容等的变化，产生相应的电学输出，从而对外部环境的变化进行精确的测量。

在现实中，应用较广泛的应变片主要是由压阻式应变传感材料制成，被称为应变片压力传感器，其主要工作原理是：被测压力压到粘贴有压阻式应变传感材料的膜片、弹性梁或应变管上并使之产生变形，由压阻式应变传感材料组成的电桥会有不平衡电压输出，该电压与作用在传感器上的被测压力成正比，因此，可通过测量输出电压的变化达到对被测压力的精确测量。另外，应变片压力传感器具有精度高、体积小、重量轻、测量范围宽、固有频率高、动态响应快等优点的同时，还具有耐振动、抗冲击性能良好的特点，适用于测量超高压力、快速变化或巨大脉动的压力、加速度，广泛应用于压力测量仪器、汽车电子、航空产品等领域。

当前，应变片压力传感器的制造方法一般是先用机械方法从母盘上切割出应变片，后由工人手工用环氧树脂将应变片粘贴到压力薄膜上。由于应变片较小且极薄，完全依靠工人凭经验操作难以利用机械方法准确地将应变片从母盘中切割出来，难以将应变片准确的粘贴到压力薄膜上的指定位置；因为应变片压力传感器的精度极高，完全依靠以上方法很难制造出合格的应变片压力传感器，即使制造出来，通常也有精度低、性能不佳、一致性不好、可靠性不高和成品率较低等问题；况且，工人在制造过程中难免会操作失误，工人的任何操作失误也会对应变片压力传感器的质量产生直接影响。

发明内容

本发明的目的在于提供一种微熔粘接应变片的方法，所述方法为制造应变片压力传感器的一个步骤，解决了应变片压力传感器制造中如何将应变片粘接到固定胶上的技术问题。

本发明是这样实现的，一种微熔粘接应变片的方法，包括以下步骤：

①将传感器结构承载件放入加热炉中加热；

②传感器结构承载件上的固定胶受热熔化，固定胶上的应变片沉入熔化的固定胶之中；

③停止加热，让固定胶冷却，所述应变片粘接于固定胶之中。

其中，在步骤①中，所述加热炉中设有输入输出气体的进气口和出气口，所述气体从进气口输入，从出气口输出。

其中，在步骤①中，在所述气体为压缩气体.

其中，在步骤①中，在所述压缩气体为防止传感器结构承载件受热氧化的保护性气体。

其中，所述保护性气体为氮气。

其中，如权利要求1所述的一种应变片压力传感器的制造方法，其特征在于：在步骤③之后，还有一步骤B，在步骤B中，将应变片和固定胶放入加温炉中加温至200～300℃，保持加温炉中的温度5～20小时，以改善传感器微熔元件的稳定性。

采用以上技术方案后，本发明提供的技术方案可将应变片牢固的粘接在固定胶上，与现有技术由工人手工用环氧树脂将应变片粘贴到压力薄膜上，使用本发明提供步骤制造出的微熔半导体硅应变片传感器不仅精度高、性能佳、一致性好和可靠性高的特点，而且成品率也较高、有利于大批量工业生产。

附图说明

图1是本发明实施例提供的从母盘分离应变片步骤中的第一示意图。

图2是本发明实施例提供的从母盘分离应变片步骤中的第二示意图。

图3是本发明实施例提供的从母盘分离应变片步骤中的第三示意图。

图4是本发明实施例提供的在压力薄膜上涂印固定胶步骤中的第一示意图。

图5是本发明实施例提供的在压力薄膜上涂印固定胶步骤中的第二示意图。

图6是本发明实施例提供的用粘胶将应变片粘贴到固定胶步骤中的示意图。

图7是本发明实施例提供的应变片微熔于传感器金属结构上的固定胶步骤中的示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

本发明提供一种使用微熔技术制造应变片传感器的方法，包括以下步骤：

(1)从刻制有应变片的母盘中分离出应变片；

(2)在支撑应变片的传感器金属结构上加上固定应变片的固定胶；

(3)将应变片对正放置于固定胶体；

(4)将固定胶加温熔化，应变片沉入熔化的固定胶中至设定的深度，待固定胶冷却后，应变片就永久地被固定于传感器结构承载件上。