[发明专利]一种嵌有氧化物量子点的碳纳米管复合气敏膜的制备方法

权利要求书

1.嵌有氧化物量子点的碳纳米管复合气敏膜的制备方法，其特征在于， 采用厚膜工艺在硅衬底上制备一层氧化物纳米颗粒膜层，在烧结炉中高温烧 结作为生长衬底，然后在其上采用酞菁铁高温催化裂解法在单温区电阻炉中 生长碳纳米管复合结构，得到的碳纳米管呈树枝状且有氧化物量子点嵌入到 其管内和管壁，所述方法包括以下步骤：

1)基底预处理

基底材料为硅或者二氧化硅衬底，先后分别用丙酮、无水乙醇和去离子 水对基底各超声清洗20～30分钟，然后在烘箱中烘干；

2)氧化物印刷浆料制备

称取8～15克氧化物，粒径小于1微米，量取30～50毫升松油醇倒入干 净的烧杯中，将称量好的氧化物倒入上面的烧杯中，用玻璃棒搅拌均匀后在 超声波清洗器中超声震荡5～10分钟，然后加入3～4克乙基纤维素，用玻璃 棒搅拌均匀和超声震荡3～5分钟，将烧杯放在电热恒温加热箱中加热，保持 温度80～100℃并不断搅拌，最终制成氧化物纳米颗粒浆料；

3)衬底制备

将氧化物纳米颗粒浆料通过厚膜工艺，包括丝网印刷、甩涂和其它涂覆 工艺，在硅或者二氧化硅衬底上成型；

4)烧结

将制备好氧化物浆料的衬底放到烧结炉中，设置烧结温度540～560℃， 保持恒温30～40分钟，然后自然冷却至室温；

5)生长碳纳米管

将烧结后的氧化物衬底作为生长衬底，在单温区电阻炉中采用酞菁铁催 化裂解法生长碳纳米管复合结构材料。

2.权利要求1中所述的嵌有氧化物量子点的碳纳米管复合气敏膜的制备 方法，其特征在于，氧化物是氧化锌、氧化锡、氧化钛或氧化锆多种金属氧 化物。