[发明专利]输送方向转换装置及悬浮输送系统

权利要求书

1.一种输送方向转换装置，从向第一输送方向悬浮输送基板的第一悬浮输送装置接受基板，并将接受的基板向在与所述第一输送方向正交的第二输送方向上进行悬浮输送的第二悬浮输送装置送出时，将基板的输送方向从所述第一输送方向转换成所述第二输送方向，其特征在于，具备：

方向转换装置主体；

多个悬浮单元，设置于所述方向转换装置主体上，且在上表面形成有喷出悬浮气体的喷嘴，并利用悬浮气体的压力使基板悬浮到基准的悬浮高度位置；

多个第一方向转换用辊单元，具有沿所述第一输送方向配置在所述方向转换装置主体上、且上侧开口、而且内部能够切换成负压状态和常压状态的第一方向转换用辊箱，以及设置于所述第一方向转换用辊箱内并支撑基板的背面的、能够绕与所述第二输送方向平行的轴心旋转的第一方向转换用辊，并且所述第一方向转换用辊的高度位置比所述基准的悬浮高度位置低，并从所述第一悬浮输送装置接受基板；

使所述第一方向转换用辊旋转的第一方向转换用旋转驱动器；

多个第二方向转换用辊单元，具有沿所述第二输送方向配置于所述方向转换装置主体上、且上侧开口、而且内部能够切换成负压状态和常压状态的第二方向转换用辊箱，以及设置于所述第二方向转换用辊箱内并支撑基板的背面的、能够绕与所述第一输送方向平行的轴心旋转的第二方向转换用辊，并且所述第二方向转换用辊的高度位置比所述基准的悬浮高度位置低，并向所述第二悬浮输送装置送出基板；以及

使所述第二方向转换用辊旋转的第二方向转换用旋转驱动器。

2.根据权利要求1所述的输送方向转换装置，其特征在于，

在所述第一方向转换用辊箱上分别形成有第一方向转换用吸引孔，

所述各第一方向转换用辊单元具有从所述第一方向转换用吸引孔吸引所述第一方向转换用辊箱内的空气的第一方向转换用吸引风扇，

通过所述第一方向转换用吸引风扇的运转或停止，可将所述第一方向转换用辊箱的内部切换成负压状态和常压状态，

在所述第二方向转换用辊箱上分别形成有第二方向转换用吸引孔，

所述各第二方向转换用辊单元具有从所述第二方向转换用吸引孔吸引所述第二方向转换用辊箱内的空气的第二方向转换用吸引风扇，

通过所述第二方向转换用吸引风扇的运转或停止，能够将所述第二方向转换用辊箱的内部切换成负压状态和常压状态。

3.根据权利要求1所述的输送方向转换装置，其特征在于，

在所述第一方向转换用辊箱上分别形成有第一方向转换用吸引孔，

所述各第一方向转换用辊单元具有：从所述第一方向转换用吸引孔吸引所述第一方向转换用辊箱内的空气的第一方向转换用吸引风扇、以及对所述第一方向转换用吸引孔进行开闭的第一方向转换用闸门，

通过所述第一方向转换用闸门的开闭动作，能够将所述第一方向转换用辊箱的内部切换成负压状态和常压状态，

在所述第二方向转换用辊箱上分别形成有第二方向转换用吸引孔，

所述各第二方向转换用辊单元具有：从所述第二方向转换用吸引孔吸引所述第二方向转换用辊箱内的空气的第二方向转换用吸引风扇、以及对所述第二方向转换用吸引孔进行开闭的第二方向转换用闸门，

通过所述第二方向转换用闸门的开闭动作，能够将所述第二方向转换用辊箱的内部切换成负压状态和常压状态。

4.一种悬浮输送系统，向第一输送方向悬浮输送基板之后，向与所述第一输送方向正交的第二输送方向悬浮输送基板，其特征在于，具有：

向所述第一输送方向悬浮输送基板的第一悬浮输送装置；

配置在所述第一悬浮输送装置的附近，且向所述第二输送方向悬浮输送基板的第二悬浮输送装置；以及

配置在所述第一悬浮输送装置和所述第二悬浮输送装置之间的转接区域的、权利要求1至权利要求3中任一项所述的输送方向转换装置。