[发明专利]输送方向转换装置及悬浮输送系统

说明书

技术领域

本发明涉及在例如从第一悬浮输送装置接受玻璃基板等的基板并向第二悬浮输送装置送出时，将基板的输送方向从第一输送方向(第一悬浮输送装置的输送方向)向与第一输送方向正交的第二输送方向(第二悬浮输送装置的输送方向)转换的输送方向转换装置及使用该装置的悬浮输送系统。

背景技术

近年来，在清洁输送的领域中，关于输送方向转换装置进行了各种开发。作为输送方向转换装置的现有技术有下述专利文献1公开的技术。

现有技术的输送方向转换装置配置在第一悬浮输送装置和第二悬浮输送装置之间的转接区域，并具备方向转换装置主体。另外，在方向转换装置主体上设置有利用压缩空气的压力使基板悬浮到基准的悬浮高度位置的多个悬浮单元。在各悬浮单元的上表面形成有喷出压缩空气的喷嘴。

在方向转换装置主体上配置有多个方向转换用辊单元。多个方向转换用辊单元从第一悬浮输送装置接受基板，并将基板送出到第二悬浮输送装置。关于各方向转换用辊单元的具体结构以下进行说明。

在方向转换装置主体上对每个方向转换用辊设置有方向转换用辊箱。方向转换用辊箱的上侧开口，在方向转换用辊箱的下表面形成有方向转换用吸引孔。另外，在方向转换用辊箱的下表面设置有从方向转换用吸引孔吸引方向转换用辊箱内的空气的吸引风扇。通过使方向转换用吸引风扇运转或停止，能够将方向转换用辊箱的内部切换成负压状态或常压状态。而且，直接支撑基板的背面的方向转换用辊以绕轴心能够旋转的方式设置在方向转换用辊箱内。在方向转换用辊箱内的适当位置设置有使方向转换用辊旋转的方向转换用旋转马达。

这里，虽然省略了具体结构，但方向转换用辊的高度位置是，通过使高度变更驱动器驱动，从而能够变更成支撑高度位置(基准的悬浮高度位置)、和比该支撑高度位置低的待避高度位置。另外，方向转换用辊的姿势是，通过使姿势变更驱动器驱动，从而能够变更成方向转换用辊的轴心与第二输送方向平行的第一姿势、和方向转换用辊的轴心与第一输送方向平行的第二姿势。

因此，将各方向转换用辊的高度位置保持在支撑高度位置，并且，将姿势保持成第一辊姿势，同时使各吸引风扇运转而将各方向转换用辊箱的内部从常压状态切换到负压状态。而且，压缩空气从各方向转换用悬浮单元的喷嘴被喷出，同时通过驱动方向转换用旋转马达，使多个方向转换用辊绕与第二输送方向平行的轴心旋转。其结果，能够充分确保基板背面和方向转换用辊之间的接触压，并能够通过多个方向转换用辊单元从第一悬浮输送装置接受基板。

通过多个方向转换用辊单元从第一悬浮输送装置接受基板之后，使方向转换用旋转马达的驱动停止，并且停止各吸引风扇的运转而将各方向转换用辊箱的内部从负压状态切换到常压状态。而且，通过驱动各高度变更驱动器，将各方向转换用辊的高度位置从支撑高度位置变更成待避高度位置。其次，通过驱动各姿势变更驱动器，将各方向转换用辊的姿势从第一姿势变更成第二姿势。而且，通过驱动各高度变更驱动器，将各方向转换用辊的高度位置从待避高度位置变更成支撑高度位置之后，通过使各吸引风扇运转而将各方向转换用辊箱的内部从常压状态切换到负压状态。而且，压缩空气从各悬浮单元的喷嘴被喷出，同时驱动方向转换用旋转马达，由此使多个方向转换用辊绕与第一输送方向平行的轴心旋转。其结果，能够充分地确保基板背面和方向转换用辊之间的接触压，并能够将基板的输送方向从第一输送方向转换到第二输送方向，从而通过多个方向转换用辊单元将基板送出到第二悬浮输送装置。

专利文献1：日本国特开2008-254918号公报

然而，如上所述，在现有技术的输送方向转换装置中，通过多个辊单元从第一悬浮输送装置接受基板并送出到第二悬浮输送装置之前，需要从各方向转换用辊的高度位置的支撑高度位置向待避高度位置的变更动作、从各方向转换用辊的姿势的第一姿势向第二姿势的变更动作、以及从各方向转换用辊的高度位置的待避高度位置向支撑高度位置的变更动作。由此，将基板从第一输送方向向第二输送方向悬浮输送的输送时间(作业时间)变长，不能充分地提高与基板的悬浮输送相关的作业效率。

发明内容

本发明的目的是提供能够上述问题的、新结构的输送方向转换装置及输送系统。