[发明专利]芯片封装体有效
申请号: | 201010157720.0 | 申请日: | 2010-04-01 |
公开(公告)号: | CN102214614A | 公开(公告)日: | 2011-10-12 |
发明(设计)人: | 蔡佳伦 | 申请(专利权)人: | 精材科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/00 | 分类号: | H01L23/00;H01L21/78 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 封装 | ||
技术领域
本发明涉及芯片封装体,特别涉及一种芯片封装体的密封环结构。
背景技术
目前业界针对芯片的封装已发展出一种晶片级封装技术,在晶片级封装体完成之后,需在各芯片之间进行切割步骤,以分离各芯片,为了降低切割步骤中产生的裂缝延伸至芯片内的机率,在各芯片之间需设置密封环,以提高芯片封装体的可靠度。此外,密封环如占用额外的面积,则晶片上的管芯总数可能减少。
发明内容
本发明的目的在于提供一种芯封装体,以解决上述问题。
为达上述目的,本发明的实施例提供一种芯片封装体,包括:芯片,具有多个导电垫,设置于芯片周围;以及密封环,包括多个金属条状物,设置于两邻接导电垫所围的空间范围内,且每一金属条状物不同时与两邻接的导电垫电性连接。
为了让本发明的上述目的、特征、及优点能更明显易懂,以下配合附图,作详细说明如下:
附图说明
图1为依据本发明实施例的芯片封装体的密封环结构所在区域的俯视图;
图2A为图1中框线3B处的放大示意图;
图2B为依据本发明实施例的密封环结构的局部结构立体图;
图3A为依据本发明实施例的密封环结构的俯视图;
图3B为依据本发明另一实施例的密封环结构的俯视图;以及
图4A-图4F为依据本发明实施例的制作芯片封装体的各工艺步骤的剖面示意图。
附图标记说明
30~芯片;
36~连接部;
32~密封环;
34~导电垫;
40、41、43、45、401-408~金属条状物;
41a~外间隙;
45a~内间隙;
w~导电垫的宽度;
d~外间隙与内间隙的间距;
42~导孔;
44~应力挡墙;
341、342、343~导电垫的金属层;
411、412、413~金属条状物的金属层;
361、362、363~连接部的金属层;
100~晶片基板;
100’~薄化的晶片基底;
102~导电垫;
104~介电层;
106~间隔层;
107~空穴;
109~凹口;
110~微透镜阵列;
112绝缘层;
114~导线层;
116~保护层;
118~导电凸块;
200~封装层;
c~切割道;
S~两金属条状物之间的弯曲通道。
具体实施方式
以下以实施例并配合附图详细说明本发明,在附图或说明书描述中,相似或相同的部分使用相同的图号。且在附图中,实施例的形状或是厚度可扩大,以简化或是方便标示。再者,附图中各元件的部分将以描述说明之,值得注意的是,图中未绘示或描述的元件,为所属技术领域中普通技术人员所知的形式。另外,特定的实施例仅为揭示本发明使用的特定方式,其并非用以限定本发明。
本发明是以制作影像感测元件封装体(image sensor package)的实施例作为说明。然而,可以了解的是,在本发明的芯片封装体的实施例中,其可应用于各种包含有源元件或无源元件(active or passive elements)、数字电路或类比电路(digital or analog circuits)等集成电路的电子元件(electroniccomponents),例如是有关于光电元件(opto electronic devices)、微机电系统(Micro Electro Mechanical System;MEMS)、微流体系统(micro fluidicsystems)、或利用热、光线及压力等物理量变化来测量的物理传感器(PhysicalSensor)。特别是可选择使用晶片级封装(wafer scale package;WSP)工艺对影像感测元件、发光二极管(light-emitting diodes;LEDs)、太阳能电池(solarcells)、射频元件(RF circuits)、加速计(accelerators)、陀螺仪(gyroscopes)、微制动器(micro actuators)、表面声波元件(surface acoustic wave devices)、压力传感器(process sensors)或喷墨头(ink printer heads)等半导体芯片进行封装。
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