[发明专利]检查方法

权利要求书

1.一种检查方法，包括如下步骤：

将测量目标设置到载物台上；

调用测量目标的参考数据；

获得测量目标的测量数据；

选择测量目标的测量数据和参考数据中的至少一个特征对象；

提取从参考数据和测量数据中的每个选择的特征对象的至少一个特征变量；

通过利用特征变量和量化的转换式来产生测量目标的改变量；

补偿产生的改变量，以设置检查区域。

2.如权利要求1所述的方法，其中，

测量目标包括印刷电路板，

特征对象包括形成在印刷电路板上的角点和电路元件的形状、图案和孔中的至少一个，

特征变量包括点的坐标、线的斜率、线的尺寸、两个点的坐标之间的差异中的至少一个。

3.如权利要求1所述的方法，其中，测量目标的改变量包括垂直斜率的改变量和高度的改变量中的至少一个。

4.如权利要求3所述的方法，其中，利用通过将在参考数据中选择的特征对象的平面形状与在获得的测量数据中的选择的特征对象对应的特征目标的平面形状进行比较而产生的几何变形来获得垂直斜率的改变量。

5.如权利要求1所述的方法，在通过利用特征变量和量化的转换式来产生测量目标的改变量的步骤之前，所述方法还包括如下步骤：

通过利用参考数据的特征变量和测量数据的特征变量之间的位置改变、斜率改变、尺寸改变、变换度中的至少一个来设置转换等式。

6.如权利要求5所述的方法，其中，

设置转换式的步骤包括：

将与参考数据的特征对象对应的坐标空间设置为第一坐标空间；

将与测量数据的特征对象对应的坐标空间设置为第二坐标空间；

将包括位置改变、斜率改变、尺寸改变、变换度中的至少一个的第一坐标空间转换至第二坐标空间的坐标转换关系式表示为包括至少一个未知量转换等式，

设置检查空间的步骤包括：

将参考数据的特征变量和测量数据的特征变量表示为转换等式；

获得包括在转换等式中的未知量，以最终确定转换式；

通过利用最终确定的转换式来设置补偿了从改变量得出的变形的检查区域。

7.一种检查方法，包括如下步骤：

将测量目标设置到载物台上；

调用包括测量目标的第一特征对象的参考数据；

获得测量目标的测量数据；

从测量数据提取与第一特征对象对应的第二特征对象；

比较第一特征对象的平面形状和第二特征对象的平面形状，以检查并量化几何变形，从而产生沿测量目标的垂直方向的改变量；

基于改变量来设置检查区域。

8.如权利要7所述的方法，其中，第一特征对象具有多边形形状。

9.一种检查方法，包括如下步骤：

在板上设置测量区域；

调用测量区域的参考数据；

获得测量区域的测量数据；

按块在测量区域中设置至少一个特征块；

比较参考数据中的特征块的第一形状信息和测量数据中的特征块的第二形状信息，以获得参考数据和测量数据之间的转换关系；

通过利用转换关系来补偿变形，以设置用于检查测量目标的检查区域。

10.如权利要求9所述的方法，其中，多个形状在与特征块对应的形状信息中。

11.如权利要求10所述的方法，其中，形状信息中的形状中的至少两个形状基本相同。

12.如权利要求10所述的方法，其中，形状信息具有二维标识符。

13.如权利要求10所述的方法，其中，特征块为多个，

比较参考数据中的与特征块对应的形状信息和测量数据中的与特征块对应的形状信息，以获得参考数据和测量数据之间的转换关系的步骤包括：

从多个特征块选择至少两个特征块；

通过利用选择的至少两个特征块来获得参考数据和测量数据之间的量化的转换式。