[发明专利]检查方法

说明书

技术领域

本发明的示例性实施例涉及一种检查方法(inspection method)。更具体地讲，本发明的示例性实施例涉及一种用于形状测量设备(shape measurementapparatus)中的测量目标(measurement target)的检查方法。

背景技术

通常，在电子装置中采用至少一个印刷电路板(PCB)，诸如电路图案、连接焊盘部件、电连接到连接焊盘部件的驱动器芯片等的各种电路元件安装在印刷电路板上。

形状测量设备通常用于检查各种电路元件是否良好地形成或构造在印刷电路板上。

在传统的形状测量设备中，设置预定的检查区域以检查电路元件是否良好地形成在检查区域中。在设置检查区域的传统方法中，简单地将电路元件在理论上所处的区域设置为检查区域。

当将检查区域设置在正确位置处时，良好地执行对期望的电路元件的测量。然而，在诸如印刷电路板的测量目标中，会产生基础板的诸如翘曲(warp)、扭曲(twist)等的变形(distortion)。因此，在设置检查区域的传统方法中，没有将检查区域正确地设置在期望的位置处，与拍摄部分的相机中获得的图像对应的位置与电路元件实际存在的位置有一定的不同。

因此，需要设置检查区域以补偿测量目标的变形。

发明内容

本发明的示例性实施例提供了一种可以设置补偿了测量目标的变形的检查区域的检查方法。

本发明的示例性实施例还提供了一种设置检查区域的检查方法，其中，补偿了测量目标的变形，并在相似的图案在板上相邻时通过设置并校验包括多个形状图案的特征来正确地设置了检查区域。

本发明的其他的特征将在下面的描述中阐述，且在部分上从描述中是明显的，或者可以从本发明的实施中获知。

本发明的示例性实施例公开了一种检查方法。所述包括如下步骤：将测量目标设置到载物台上；调用测量目标的参考数据；获得测量目标的测量数据；选择测量目标的测量数据和参考数据中的至少一个特征对象；提取从参考数据和测量数据中的每个选择的特征对象的至少一个特征变量；通过利用特征变量和量化的转换式来产生测量目标的改变量；补偿产生的改变量，以设置检查区域。

测量目标可以包括印刷电路板，特征对象可以包括形成在印刷电路板上的角点和电路元件的形状、图案和孔中的至少一个，特征变量可以包括点的坐标、线的斜率、线的尺寸、两个点的坐标之间的差异中的至少一个。

例如，测量目标的改变量可以包括垂直斜率的改变量和高度的改变量中的至少一个。利用通过比较在参考数据中选择的特征对象的平面形状和与在获得的测量数据中的选择的特征对象对应的特征目标的平面形状而产生的几何变形来获得垂直斜率的改变量。

在一个示例性实施例中，在通过利用特征变量和量化的转换式来产生测量目标的改变量的步骤之前，所述方法还可以包括如下步骤：通过利用参考数据的特征变量和测量数据的特征变量之间的位置改变、斜率改变、尺寸改变、变换度中的至少一个来设置转换等式。设置转换式的步骤可以包括：将与参考数据的特征对象对应的坐标空间设置为第一坐标空间；将与测量数据的特征对象对应的坐标空间设置为第二坐标空间；将包括位置改变、斜率改变、尺寸改变、变换度中的至少一个的第一坐标空间转换至第二坐标空间的坐标转换关系式表示为包括至少一个未知量转换等式。设置检查空间的步骤可以包括：将参考数据的特征变量和测量数据的特征变量表示为转换等式；获得包括在转换等式中的未知量，以最终确定转换式；通过利用最终确定的转换式来设置补偿了从改变量得出的变形的检查区域。

本发明的另一示例性实施例公开了一种检查方法。所述方法包括如下步骤：将测量目标设置到载物台上；调用包括测量目标的第一特征对象的参考数据；获得测量目标的测量数据；从测量数据提取与第一特征对象对应的第二特征对象；比较第一特征对象的平面形状和第二特征对象的平面形状，以检查并量化几何变形，从而产生沿测量目标的垂直方向的改变量；基于改变量来设置检查区域。

例如，第一特征对象可以具有多边形形状。

本发明的示例性实施例公开了一种检查方法。所述检查方法包括如下步骤：在板上设置测量区域；调用测量区域的参考数据；获得测量区域的测量数据；按块在测量区域中设置至少一个特征块；比较参考数据中的特征块的第一形状信息和测量数据中的特征块的第二形状信息，以获得参考数据和测量数据之间的转换关系；通过利用转换关系来补偿变形，以设置用于检查测量目标的检查区域。