[发明专利]镀膜装置

权利要求书

1.一种镀膜装置，包括：

基座，其具有相对的承载面和底面，该承载面用于承载待镀工件，自该承载面向基座内开设有多个凹槽；

驱动机构，其包括马达和多个转轴，该多个转轴分别设置在该多个凹槽内且可相对该多个凹槽转动，该马达用于驱动该多个转轴转动；

多个沿凹槽设置的间隔导板，该多个间隔导板将该承载面分割形成多个间隔区域，其中，每一间隔导板与相应的一转轴固定连接，每一间隔导板可在对应的转轴的带动下转动并与该基座的承载面成一夹角；及

导气部，其设置在该基座的上方并具有多个导气口，该多个导气口与该多个间隔区域一一对应。

2.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，该多个转轴中的每一转轴对应设有一个马达，每一马达用于驱动对应的一转轴转动。

3.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，该基座还具有连接于该承载面与底面之间的侧面，该多个凹槽垂直于该侧面，该多个凹槽平行于该侧面的截面为圆弧。

4.如权利要求3所述的镀膜装置，其特征在于，该圆弧的弧度大于180度。

5.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，该基座内还设置有冷却管道，该冷却管道埋设在相邻的两间隔导板之间的承载面的下方。

6.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，该基座为长方体，该多个凹槽在该基座上等间距分布。

7.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，该基座为圆柱体，该承载面为圆形，该承载面的中心设置有一个固定部，该固定部为圆柱体，该多个凹槽围绕该固定部设置且该多个凹槽的沿该固定部径向延伸。

8.如权利要求7所述的镀膜装置，其特征在于，该多个凹槽沿该固定部的圆周方向上等间距分布。

9.如权利要求7所述的镀膜装置，其特征在于，该固定部的中心开设有一个圆槽，该圆槽包括一个气缸以及一个收缩段，该气缸的孔径大于该收缩段的孔径，且该收缩段远离该基座，该导气部延伸形成有一个活塞，该活塞包括活塞杆以及设置在该活塞杆末端的活塞环，该活塞环与该气缸气密配合。

10.如权利要求9所述的镀膜装置，其特征在于，该活塞杆的直径等于该收缩段的孔径，该活塞环的直径等于该气缸的孔径。