[发明专利]压电致动器的处理设备和压电致动器的处理方法

权利要求书

1.一种用于检查盘驱动器悬架(10)的压电致动器(15)的处理设备(60)，所述压电致动器(15)包括：设置在第一电极(31)和第二电极(32)之间的压电本体(30)；附连于所述第一电极(31)并包括掺杂有金属填充物(40b)的基质树脂(40a)的导电树脂(40)；通过所述导电树脂(40)对所述第一电极(31)导电的第一导电部分(41)以及电绝缘于所述第一导电部分(41)并对第二电极(32)导电的第二导电部分(46)，所述处理设备(60)的特征在于，包括：

通过测量探头(62、63)连接于所述第一导电部分(41)和所述第二导电部分(46)的电路(61)；

通过所述测量探头(62、63)在所述第一导电部分(41)和所述第二导电部分(46)之间施加AC波形电压(V₂)的AC电压源(70)，所述AC波形电压(V₂)是通过将偏置电压(V_B)加上用于电容测量的AC电压(V₁)获得的；

在施加所述AC波形电压(V₂)的瞬间，基于偏置电压(V_B)的电位差通过所述电路(61)中产生的涌入电流使所述导电树脂(40)中发生介电击穿由此确保导电性的涌入电流生成装置(71)；

在确保所述导电树脂(40)导通的情况下通过所述AC波形电压(V₂)测量所述压电本体(30)的电容并基于测得的电容判断所述压电本体(30)是否正常的判断装置(75)；以及

显示由所述判断装置(75)作出的判断结果的显示装置(76)。

2.一种用于检查盘驱动器悬架(10)的压电致动器(15)的处理方法，所述压电致动器(15)包括：设置在第一电极(31)和第二电极(32)之间的压电本体(30)；附连于所述第一电极(31)并包括掺杂有金属填充物(40b)的基质树脂(40a)的导电树脂(40)；通过所述导电树脂(40)对所述第一电极(31)导电的第一导电部分(41)以及电绝缘于所述第一导电部分(41)并对所述第二电极(32)导电的第二导电部分(46)，所述处理方法的特征在于，包括：

通过使测量探头(62、63)接触所述第一导电部分(41)和所述第二导电部分(42)而形成电路(61)；

向所述电路(61)施加AC波形电压(V₂)，所述AC波形电压(V₂)是通过将偏置电压(V_B)加上用于电容测量的AC电压(V₁)而获得的；

在施加所述AC波形电压(V₂)的瞬间，基于所述偏置电压(V_B)的电位差通过电路(61)中产生的涌入电流使所述导电树脂(40)中发生介电击穿，由此确保导通；

在所述涌入电流产生后确保所述导电树脂(40)导通的情况下，通过所述AC波形电压(V₂)测量所述压电本体(30)的电容；

基于测得的电容判断所述压电本体(30)是否正常；以及

显示判断结果。