[发明专利]压电致动器的处理设备和压电致动器的处理方法

说明书

技术领域

本发明涉及压电致动器所使用的处理设备和方法，例如涉及检查设有压电致动器的盘驱动器悬架的压电本体。

背景技术

硬盘驱动器(HDD)用于信息处理设备，例如个人计算机。盘驱动器包括绕主轴旋转的磁盘、致动臂、定位电动机等。致动臂配置成通过定位电动机在枢转点周围相对于盘的磁道横向地转动。悬架安装在致动臂上。构成磁头的滑动件设置在悬架的远端部分上。

建议DSA悬架(具有二级致动器的悬架)以应付硬盘驱动器记录密度的增加。DSA悬架的一个示例公开于特开2002-184140号公报(专利文献1)中。该悬架包括通过定位电动机转动的致动臂以及包含压电本体的压电致动器(微型致动器)。压电致动器适于相对盘的磁道以无穷小距离高速地横向移动悬架。

例如锆钛酸铅(PZT)的压电本体用于压电致动器。该压电本体设置在第一和第二电极之间。第一电极通过例如银膏的导电树脂连接于第一导电部分。第二电极连接于第二导电部分。导电树脂包括基质树脂以及混合在基质树脂中的银微粒的金属填充物等。如果具有压电致动器的盘驱动器悬架中的压电本体破裂，则其性能劣化。如果压电本体的性能劣化，则悬架不能表现出预定的性能。因此，在悬架检查步骤中，检查压电本体的性能是否正常。例如，特开2003-141832号公报(专利文献2)披露一种盘驱动器，它能确定压电本体是否正常。在这种盘驱动器中，将AC电压施加于压电本体，并检测压电本体的电容(或静电容量)。

根据压电本体中的导电树脂的基质树脂中的金属填充物的混合状态，电阻值由于填充物之间不充分的导电性而变动。电阻值的变动对检测结果的影响不小。因此在某些情形下，可在测量压电本体的电容前执行使金属填充物介质击穿的步骤。例如，如果将相对高的电压(例如12V DC)施加于导电树脂，则在金属填充物之间发生介电击穿。通过这种介电击穿，可确保导电树脂的导通，且可使电阻值变得稳定。

传统地，如前面提到的，单独地进行通过将相对高的DC电压施加于导电树脂而造成介电击穿的步骤以及通过AC电压测量压电本体电容的步骤。因此，检查压电本体的操作花费很长时间和很多劳力。

发明内容本发明的目的是提供一种处理设备和方法，它能在检查压电本体时有效地执行使导电树脂介电击穿的步骤和测量盘驱动器悬架的压电本体中的电容的步骤。

压电致动器包括：设置在第一电极和第二电极之间的压电本体；以及附连于第一电极并包含掺杂有金属填充物的基质树脂的导电树脂；通过导电树脂可对第一电极导电的第一导电部分；以及对第一导电部分绝缘并可对第二电极导电的第二导电部分。

用于处理压电致动器的处理设备包括：通过测量探头连接于第一导电部分和第二导电部分的电路；施加AC波形电压的AC电压源，所述AC波形电压是通过测量探头在第一导电部分和第二导电部分之间将偏置电压加上用于电容测量的AC电压而获得的；涌入电流生成装置，用于在施加AC波形电压的一瞬间，基于偏置电压的电位差通过电路中产生的涌入电流使导电树脂介电击穿由此确保传导性；判断装置，用于在确保导电树脂导通的情况下通过AC波形电压测量压电本体的电容，并基于测得的电容判断压电本体是否正常；以及显示判断结果的显示装置。

用于处理压电致动器的处理方法包括：步骤(ST1)，通过使测量探头接触第一导电部分和第二导电部分而形成电路；以及步骤(ST2)，向电路施加AC波形电压，所述AC波形电压是通过将偏置电压加上用于电容测量的AC电压而获得的；步骤(ST3)，在施加AC波形电压的瞬间，基于偏置电压的电位差，通过电路中产生的涌入电流使导电树脂介电击穿，由此确保导通；步骤(ST4)，在产生涌入电流后确保导电树脂导通的情况下，通过AC波形电压测量压电本体的电容；步骤(ST5)，基于测得的电容判断压电本体是否正常；以及步骤(ST6)，显示判断结果。

根据上述的处理设备和方法，在检查压电本体时，能有效地在短时间内执行使压电致动器中的导电树脂的电阻值稳定的步骤和测量含压电致动器的盘驱动器悬架的压电本体的电容的步骤。

将在下面的说明中阐明本发明的附加目的和优点，其一部分将从说明书中变得明确，或可通过本发明的实践获知。可通过下文中特别指出的手法和组合来实现和获得本发明的目的和优点。

附图说明

包含于此并构成说明书一部分的附图示出本发明的实施例，并与前面给出的一般说明和下面给出的详细实施例说明一起用来解释本发明的原理。

图1是示出具有压电致动器的盘驱动器悬架的一个例子的平面图；