[发明专利]电容MEMS麦克风振膜有效
| 申请号： | 201010167950.5 | 申请日： | 2010-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN101883307A | 公开（公告）日： | 2010-11-10 |
| 发明（设计）人： | 杨斌 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | H04R7/00 | 分类号： | H04R7/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电容 mems 麦克风 | ||
【权利要求书】：
1.一种电容MEMS麦克风振膜，包括与背板构成电容系统的振膜单元，所述振膜单元包括位于中央位置悬置的内膜和外围膜片，其特征在于：所述的外围膜片由内膜边缘向外衍生延伸出至少四对均匀分布的环形折梁构成。
2.根据权利要求1所述的电容MEMS麦克风振膜，其特征在于：所述每对环形折梁包括相互分立的第一环行折梁和第二环行折梁，所述第一环形折梁和第二环形折梁的衍生延伸方向相对。
3.根据权利要求2所述的电容MEMS麦克风振膜，其特征在于：所述第一环形折梁与第二环形折梁沿振膜单元中心线相互对称。
4.根据权利要求2或3所述的电容MEMS麦克风振膜，其特征在于：所述第一环形折梁和第二环形折梁分别包括从内膜衍生延伸的连接部、从连接部衍生延伸的呈字母“U”形的曲臂及与曲臂衍生的支撑部。
5.根据权利要求4所述的电容MEMS麦克风振膜，其特征在于：所述曲臂延伸方向与内膜同心。
6.根据权利要求1所述的电容MEMS麦克风振膜，其特征在于：所述每对环形折梁沿振膜单元的中心线相互对称。
7.根据权利要求4所述的电容MEMS麦克风振膜，其特征在于：所述第一环形折梁和第二环形折梁与所述内膜之间设有第一间隙。
8.根据权利要求1所述的电容MEMS麦克风振膜，其特征在于：所述每对环形折梁相互之间设有第二间隙。
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