[发明专利]电容MEMS麦克风振膜

说明书

【技术领域】

本发明涉及微型麦克风领域，具体指一种应用于电子设备上，具有更加灵敏度电容MEMS(micro-electro-mechanical system)麦克风振膜。

【背景技术】

随着无线通讯的发展，全球移动电话用户越来越多，用户对移动电话的要求已不仅满足于通话，而且要能够提供高质量的通话效果，尤其是目前移动多媒体技术的发展，移动电话的通话质量更显重要，移动电话的麦克风作为移动电话的语音拾取装置，其设计好坏直接影响通话质量。

而目前应用较多且性能较好的麦克风是硅半导体麦克风，硅半导体麦克风将背极板与振膜筑于硅晶上，并以适当的电路连接，利用化学刻蚀技术将振膜平整并单纯的置于基底上，使其可随声音做完全的自由振动，振动的振膜与背极板之间形成的电场变化即产生电路上的电信号。通常MEMS麦克风包括背板、与背板相对并通过支撑部相连接的振膜，背板上设有声学孔，该声学孔可将声音气流传递到振膜上，声压驱动振膜相对背板振动，所述振膜与背板之间形成一个声腔；振膜与背板上分别设有导电层并可加电，但加电的部分相互绝缘，这样振膜与背板之间的声腔就组成具有电容的电容器，电容的值与电容两个板之间的正对面积成正比，与电容两个板之间的距离成反比。此种结构的麦克风声学孔位置正对振膜的中间区域，而振膜的中间区域机械灵敏度高，边缘基本都束缚在基底上，由于边缘位置水平低，则造成振膜中心位置的浪费，降低了麦克风灵敏度；而且振膜在振动发声过程中高频振颤，易造成振膜的中心部的片面扭动，这势必影响MEMS麦克风的性能，将限制了产品的应用领域。

【发明内容】

本发明的目的在于解决振膜灵敏度较低和振颤发生扭动的不足，而提出一种电容MEMS麦克风振膜。

为了达到上述目的，本发明的技术方案如下：

一种电容MEMS麦克风振膜，包括与背板构成电容系统的振膜单元，所述振膜单元包括位于中央位置悬置的内膜和外围膜片，其中所述的外围膜片由内膜边缘向外衍生延伸出至少四对均匀分布的环形折梁构成。

所述每对环形折梁包括相互分立的第一环行折梁和第二环行折梁，所述第一环形折梁和第二环形折梁的衍生延伸方向相对。

所述第一环形折梁和第二环形折梁分别包括从内膜衍生延伸的连接部、从连接部衍生延伸的呈字母“U”形的曲臂及与曲臂衍生的支撑部。

所述曲臂延伸方向与内膜同心。

所述第一环形折梁与第二环形折梁沿振膜单元中心线相互对称。

所述每对环形折梁沿振膜单元的中心线相互对称。

所述第一环形折梁和第二环形折梁与所述内膜之间设有第一间隙。

所述每对环形折梁相互之间设有第二间隙。

本发明电容MEMS麦克风振膜，包括与背板构成电容系统的振膜单元，所述振膜单元包括位于中央位置悬置的内膜和外围膜片，其中所述的外围膜片由内膜边缘向外衍生延伸出至少四对均匀分布的环形折梁构成，以减小绝缘层对振膜单元周侧边缘部的约束，可以有效提高灵敏度；同时本发明的振膜单元，能够防止振膜单元振颤时的平面扭动，有效释放应力，从而进一步改善麦克风性能的稳定性。

【附图说明】

图1为本发明的振膜单元平面结构示意图。

【具体实施方式】

下面结合附图，对本发明电容MEMS麦克风作详细说明。

本发明电容MEMS麦克风主要用于手机上，接受声音并将声音转化为电信号，本发明是通过改变振膜结构达到提高电容式麦克风灵敏度的效果。