[发明专利]无尘式真空动力传送装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种对动力进行传送的传送装置，尤其涉及一种对有机发光二极管生产线上真空腔室内的用来传送基片的无尘式真空动力传送装置。

背景技术

随着经济的不断发展、科技的不断进步和世界能源的日益减少，人们在生产中越来越重视能源的节约及利用效率，使得人与自然和谐发展以满足中国新型的工业化道路要求。

例如，在真空环境要求极高的数码产品的显示产业中，企业为了节约能源、降低生产成本，都加大投资研发力度，不断地追求节能的新产品。其中，OLED显示屏就是数码产品中的一种新产品，OLED即有机发光二极管(OrganicLight-Emitting Diode)，又称为有机电激光显示(Organic ElectroluminesenceDisplay，OELD)，因为具备轻薄、省电等特性，因此在数码产品的显示屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚焦在平板显示器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-LCD相提并论的技术，且是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术；但OLED显示屏幕与传统的TFT-LCD显示屏幕并不同，其无需背光灯，采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基片，当有电流通过时，这些有机材料就会发光，而且OLED显示屏幕可以做得更轻更薄，可视角度更大，并且能够显著节省电能；相应地，制造OLED显示屏幕的所有设备必须要保证OLED显示屏幕的精度要求。因此，作为有机发光二极管OLED原材料的质量和精度，传输过程中传动机构的自动化程度，清洁度，以及低噪音尤为重要。

现有的一种用于对真空腔室内的用来制造有机发光二极管OLED的基片传动机构中，外界动力输出轴与传动轴相连，传动轴与齿轮传动装置相连，齿轮传动装置上承载有待传送的基片，传动轴可以从外界动力输出轴获取旋转力，即当马达等驱动设备开动时，该传动轴就可以带动齿轮传动装置旋转。上述传送方式由于大都采用齿轮相互啮合的直接接触的传动方式，传动的过程中容易造成机械磨损，导致传动能耗；同时，由于传动中的各运动组件，例如齿轮与传动轴、齿轮与齿轮等之间的接触，容易使传动机构各运动组件之间因为摩擦而粒化，产生粉尘进入到容置有基片的真空腔室内，影响了真空腔室内及基片的清洁度，并且传动过程中产生了较大的噪声；另外，各运动组件之间的摩擦也将严重影响传动机构使用寿命。

因此，急需一种传动能耗少、高清洁度、超静音、使用寿命长的适用于在真空腔室内传送基片的无尘式真空动力传送装置来克服上述缺陷。

发明内容

本发明的目的在于提供一种传动能耗少、高清洁度、超静音、价格低廉、使用寿命长适用于在真空腔室内传送基片的无尘式真空动力传送装置。

为实现上述目的，本发明提供一种无尘式真空动力传送装置，适用于在真空腔室内传送基片，其中，所述无尘式真空动力传送装置包括驱动机构、传动轴、联动轴及均具有磁性的磁力主动轮与若干磁力从动轮，所述传动轴的一端枢接地穿过所述真空腔室的一体壁并伸入所述真空腔室内，所述磁力主动轮固定安装于所述传动轴伸入所述真空腔室内的一端上，所述联动轴的两端分别枢接于所述真空腔室的相对两体壁上并邻近所述主动轮，所述磁力从动轮固定安装于所述联动轴上，且至少一个所述磁力从动轮邻近所述磁力主动轮，所述磁力从动轮上承载有基片，所述驱动机构固定安装于所述真空腔室外，且所述驱动机构的动力输出端与所述传动轴露出于所述真空腔室的一端连接，所述驱动机构驱动所述传动轴旋转以带动所述磁力主动轮旋转，所述磁力主动轮带动所述磁力从动轮及联动轴旋转以传送基片。

较佳地，所述真空腔室的体壁上固定装设有轴承座，所述传动轴穿过所述轴承座并伸入所述真空腔室内。所述轴承座将所述传动轴固定于所述真空腔室的体壁上，并引导所述传动轴伸入所述真空腔室内，从而为所述传动轴提供稳定的旋转工作环境。

较佳地，所述传动轴的表面上旋转密封有一星型密封圈，且所述星型密封圈装设于所述轴承座内。所述星型密封圈旋转密封在所述传动轴的外表面且置于所述轴承座内，从而不仅可有效防止空气通过所述传动轴进入到真空腔室内，以保证所述真空腔室内的真空度，还可有效防止所述传动轴在旋转过程中，外界细小的灰尘颗粒等进入所述真空腔室内，以保持所述真空腔室内的高清洁度，防止被传送的基片沾染到灰尘等影响其精度的杂物。