[发明专利]一种空间像的质量检测方法

说明书

技术领域

本发明涉及光刻领域，尤其涉及光刻机成像系统所成空间像的质量检测方法。

背景技术

光刻机曝光过程中，由于温度的影响，导致镜头变形，产生彗差和球差。硕士论文《大口径长焦距像质检测系统》中研究了大口径长焦距像质检测系统，利用平行光束经过镜头后照射在Ronchi光栅上，在Ronchi光栅后周期性的位置会形成Talbot像，在光栅Talbot像的位置再放置一个相同的Ronchi光栅就会产生莫尔条纹，当入射的平行光束在垂直光栅线方向有个微小的角度变化，莫尔条纹就会产生一个相应的明显移动；通过图像采集CCD系统，获得莫尔条纹的图像，输入计算机图像处理软件，计算莫尔条纹的移动量，接着可以求出入射波面的斜率，采用二维扫描的方法，测量镜头不同位置的子孔径的波面斜率，通过波面重构算法重构整个镜头波面斜率。

发明内容

本发明提供了一种求解由于镜头变形所产生球差和彗差的方法。

通过镜头进行成像，将所成的空间像分成n(n≥3)段，空间像总的能量等于各段空间像能量之和；将通过镜头所成空间像的能量用下列数学模型表示：

I＝I₁+I₂+Λ+I_n，n≥3

其中，i＝1，2，Λ，n，其中aix表示空间像宽度，aiz表示空间像高度；

当n为偶数时，其中，a_i表示各段的相对光强，A表示光强幅值，T表示离心率；

mi=A·ai·(1-T),i=n2+1,Λ,n]]>

当n为奇数时，mi=A·ai·(1+T),i=1,Λ,n-12]]>

mi=A·ai,i=n+12]]>