[发明专利]溅镀载具

权利要求书

1.一种溅镀载具，其包括一个底座以及一呈阵列式排布在所述底座一侧的多个支撑座，其特征在于：所述溅镀载具是由质量比为9∶1的聚碳酸酯及玻璃纤维经熔融共混后模制成型。

2.如权利要求1所述的溅镀载具，其特征在于：所述底座呈矩形并包括一个上表面以及一个与所述上表面相对的下表面，所述支撑座间隔均匀的设置在所述底座的上表面上，所述底座的下表面四周延伸一个支撑壁，所述支撑壁四角位置处沿垂直于所述下表面的方向分别延伸出一个支脚。

3.如权利要求2所述的溅镀载具，其特征在于：每一支脚的内侧向所述底座的中心位置分别延伸出一个加强筋，所述多个加强筋相交于所述底座下表面中心位置处的一个环形壁上。

4.如权利要求1所述的溅镀载具，其特征在于：所述聚碳酸酯的熔体流通特性为7g/10min。

5.如权利要求1所述的溅镀载具，其特征在于：所述玻璃纤维的平均直径为10～20微米，长度为2～6毫米。

6.如权利要求1所述的溅镀载具，其特征在于：所述熔融共混为在300度的温度下进行。