[发明专利]溅镀载具

说明书

技术领域

本发明涉及一种载具，尤其涉及一种应用于溅镀过程中的溅镀载具。

背景技术

在溅镀工艺过程中，为了能够提高生产效率，通常会将多个待镀膜工件同时装载在一个托盘上，随后将托盘连同设置在其上的待镀膜工件一同送入镀膜装置中进行溅镀。由于溅镀过程中的环境要求高，因此，对托盘本身的物理特性要求也非常的苛刻，比如，需要托盘耐高温，变形率小等。传统的托盘通常采用塑胶或者金属制造。采用塑胶制造的托盘成本较低但容易变形。而采用金属制造的托盘不易变形但成本高，而且难以清洗。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种成本低且不易变形的溅镀载具。

一种溅镀载具，其包括一个底座以及一呈阵列式排布在所述底座一侧的多个支撑座。所述溅镀载具是由质量比为9∶1的聚碳酸酯及玻璃纤维经熔融共混后模制成型。

相较现有技术，本发明溅镀载具通过采用聚碳酸酯与玻璃纤维混合后模制而成，因此，耐热性好，变形小，无静电残留，加工容易，制造成本低等特点。

附图说明

图1是本发明实施方式中提供的溅镀载具的立体图。

图2是图1中溅镀载具的另一视角的立体图。

主要元件符号说明

溅镀载具        100

底座            110

上表面          112

下表面          114

支撑壁          115

支脚            116

加强筋          118

环形壁          119

支撑座          120

具体实施方式

请参阅图1，本发明较佳实施方式提供的一种溅镀载具100，其包括一个底座110，以及呈阵列式排布在所述底座110一侧的多个支撑座120。所述底座110呈矩形，其包括一个上表面112以及一个与所述上表面112相对的下表面114。所述支撑座120间隔均匀的设置在所述底座110的上表面112上。所述底座110的下表面114四周延伸一个支撑壁115。所述支撑壁115四角位置处沿垂直于所述下表面的方向分别延伸出一个支脚116。沿着每一支脚116的内侧向所述底座110的中心位置分别延伸出一个加强筋118。所述多个加强筋118相交于所述底座110下表面114中心位置处的一个环形壁119上。

所述溅镀载具100采用聚碳酸酯与玻璃纤维通过熔融共混并经模制成型的方法制作而成。具体采用熔体流通特性为7g/10min的聚碳酸酯，平均直径为10～20微米平均长度为2～6毫米的玻璃纤维。将上述材料在真空干燥箱中干燥24小时，并对其进行静电除尘。将干燥处理后的聚碳酸酯及玻璃纤维按照9∶1的比例加入到双螺杆挤出机中，并在300度的温度下进行熔融共混。随后将从双螺杆挤出机中获得的聚碳酸酯及玻璃纤维熔融共混材料造粒，颗粒直径与普通注塑成型机所使用的原材料的颗粒大小相近似，平均在5～10mm之间。之后将上述共混造粒后的聚碳酸酯与玻璃纤维的混合颗粒加入注塑成型机，从而模制出本发明的溅镀载具100。

由于聚碳酸酯是一种综合性能优良的非晶型热塑性树脂，具有优异的电绝缘性、延伸性、尺寸稳定性及耐化学腐蚀性，而玻璃纤维则具有较高的机械强度及定型特性，因此，混合后的聚碳酸酯及玻璃纤维则兼具两种材料的优点。采用这种混合材料制造而成的溅镀载具100经实践证明，具有耐热性好，变形小，无静电残留，加工容易，制造成本低的特点。此外，比起金属载盘的散热性要好、可使被镀基材表面膜层附着力佳不易脱落，电阻值较低；不容易吸附油气，不会有残余气体挥发而破坏溅镀真空条度以至于引发打火，使溅镀产品外观发黑或者出现脱膜现象。

应该指出，上述实施方式仅为本发明的较佳实施方式，本领域技术人员还可在本发明精神内做其它变化。这些依据本发明精神所做的变化，都应包含在本发明所要求保护的范围之内。