[发明专利]触控装置的制造方法

说明书

技术领域

本发明是有关于一种触控装置的制造方法。

背景技术

随着科技的快速发展，信息产品的功能越来越多样化，其应用面也触及了人们日常生活各个领域。早期的信息产品多半是以键盘、鼠标之类的输入装置，作为人机沟通的界面；但为了提供使用者更便利且更人性化的使用经验，许多信息产品逐渐采用触控装置作为主要的输入装置。

目前的触控装置通常是利用外加至或内建于显示面板中的触控面板，以达到触控输入信息和/或操作的目的。触控面板依其触控感应原理的不同，至少可分为电容式、电阻式、光学式与音波式等不同类型。

图1绘示了一种习知触控面板的一部分的俯视图。如图1所示，习知的触控面板160包括基板100、多个第一导电区105绝缘层130以及与多个第二导电区115。上述第一个导电区105与第二导电区115皆配置于基板100上，其中该多个第一个导电区105彼此透过第一导线110而电性连接；而该多个第二个导电区115彼此则是透过第二导线120而电性连接。绝缘层130设置于第一导线110与第二导线120之间。

根据习知技术，为了使第一导电区105之间存在良好的导电性，第一导线110采用金属材料所制成。然而，由于金属材料的遮旋光性较强，使用者在检视屏幕时，往往会察觉到这些金属导线的存在，而大大地影响了使用者观看屏幕的舒适度与满意度。

因此，如何降低触控装置中金属导线的可见性，以提升触控装置的显示品质，实为当前触控装置生产技术上亟待克服的课题。

发明内容

发明内容旨在提供本揭示内容的简化摘要，以使阅读者对本揭示内容具备基本的理解。此发明内容并非本揭示内容的完整概述，且其用意并非在指出本发明实施例的重要/关键元件或界定本发明的范围。

本发明的一态样是有关于一种触控装置的制造方法，此一方法可有效降低触控装置中金属导线的可见性，以提供较佳的显示品质。

依据本发明一实施例，上述制造方法包含以下步骤。形成第一图案化透明导电层于基板上；上述第一图案化透明导电层可用以形成第一导线与衬垫，其中第一图案化透明导电层包含非晶型透明导电材料。对上述第一图案化透明导电层进行第一回火制程，以将该非晶型透明导电材料改质为多晶透明导电材料。依序形成绝缘层与图案化半调式(halftone)光阻于该基板与该第一图案化透明导电层上，其中该图案化半调式光阻位于该第一导线上方。以上述图案化半调式光阻作为一蚀刻遮罩来蚀刻绝缘层，以形成图案化绝缘层。进行电浆灰化制程，以部分移除该图案化半调式光阻并露出该图案化绝缘层的一部分。形成透明导电层于该第一图案化透明导电层、该图案化半调式光阻与该图案化绝缘层上。移除该图案化半调式光阻以及其上的透明导电层，以使得该透明导电层形成第二图案化透明导电层，该第二图案化透明导电层用以形成多个第一导电区、多个第二导电区与一第二导线，其中该多个第一导电区彼此以该第一导线电性连接且该多个第二导电区彼此以该第二导线电性连接。

依据本发明一任选的实施例，上述方法还包含形成图案化保护层于该基板上以露出该衬垫。

依据本发明又一任选实施例，上述方法还包含对该第二图案化透明导电层进行第二回火制程。

依据本发明实施例，上述方法中所采用的第一图案化透明导电层或第二图案化透明导电层分别包含一非晶型的透明导电材料，此一透明导电材料可为铟锡氧化物、铟锌氧化物、铟锡锌氧化物、氧化铪、铝锡氧化物、铝锌氧化物、镉锡氧化物或镉锌氧化物。

依据本发明实施例，上述方法中用以移除图案化半调式光阻以及其上的透明导电层的步骤是利用剥离(lift-off)制程或研磨制程。

本发明的另一态样是有关于一种触控装置的制造方法，此一方法可有效降低触控装置中金属导线的可见性，以提供较佳的显示品质。