[发明专利]加热器驱动螺杆检测装置及方法

权利要求书

1.一种加热器驱动螺杆检测装置，包括：

上升环，所述上升环用以在外力驱动下，带动加热器驱动螺杆检测装置由释放位置上升至原位；

加热器，所述加热器位于上升环内部，用以为沉膜工艺加热；

上升钉，贯穿设置在加热器上平台两侧；

驱动螺杆，所述驱动螺杆设置在加热器底部，用以驱动加热器运动；

其特征在于：在所述驱动螺杆一侧设置具有下传感器和上传感器的固定基板，所述下传感器和所述上传感器分别与探测电路板电连接，探测电路板的输出端与大型机系统电连接。

2.根据权利要求1所述的加热器驱动螺杆检测装置，其特征在于：所述运动为加热器从原位上升至沉积位置。

3.根据权利要求1所述的加热器驱动螺杆检测装置，其特征在于：所述运动为加热器从沉积位置下降至原位。

4.根据权利要求1所述的加热器驱动螺杆检测装置，其特征在于：所述下传感器检测位于原位的驱动螺杆。

5.根据权利要求1所述的加热器驱动螺杆检测装置，其特征在于：所述上传感器检测位于沉积位置的驱动螺杆。

6.根据权利要求1所述的加热器驱动螺杆检测装置，其特征在于：所述下传感器和上传感器的位置依据制程公差进行布置。

7.根据权利要求1所述的加热器驱动螺杆检测装置，其特征在于：所述固定基板为铁基板。

8.一种具有如权利要求1所述的加热器驱动螺杆检测装置的驱动螺杆检测方法，包括：

加热器驱动螺杆检测装置处于释放位置；

加热器驱动螺杆检测装置由释放位置上升至原位；

下传感器进行原位检测；

加热器由原位上升至沉积位置；

上传感器进行沉积位置检测；

如果沉积位置检测结果为正确沉积位置，则探测电路板发出继续执行指令，与探测电路板电连接的大型机系统便进行后续的沉膜工艺；

如果沉积位置检测结果为非正确沉积位置，则探测电路板发出中止执行指令，与探测电路板电连接的大型机系统便中止后续的沉膜工艺。

9.根据权利要求8所述的驱动螺杆检测方法，其特征在于，所述沉积位置检测为非正确沉积位置时，与探测电路板电连接的大型机系统发出触发警报。