[发明专利]新型复合型透明导电玻璃及其制备方法无效
| 申请号： | 201010191450.5 | 申请日： | 2010-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN101863626A | 公开（公告）日： | 2010-10-20 |
| 发明（设计）人： | 张庆丰;罗培青;章昌台;高石崇;郑加镇 | 申请（专利权）人： | 江西赛维BEST太阳能高科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/34 | 分类号： | C03C17/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 330000 *** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 新型 复合型 透明 导电 玻璃 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型复合型透明导电玻璃，以掺氟氧化锡膜层(FTO)的透明导电玻璃为原片，其特征是：在原片导电玻璃上依次沉积一层氧化钛(TiO2)和掺铝氧化锌(AZO)，形成一种新型复合型透明导电玻璃结构。
2.根据权利要求1所述一种新型复合型透明导电玻璃，其特征是：沉积的TiO2厚度可以是20nm，AZO厚度可以是10nm。
3.一种新型复合型透明导电玻璃的制备方法，其特征是：采用磁控溅射(PVD)方式，所需的工艺气体为高纯氩气(Ar)和高纯氧气(O2)，控溅射所需的本底真空为小于10-4Pa，工艺压强为0.1～0.5Pa，沉积TiO2膜层10所用的靶材为金属Ti或者TiO2陶瓷靶，沉积AZO膜层所用的靶材为AZO(Al2O3wt％0％～3％)陶瓷靶。
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