[发明专利]激光加工方法、激光加工装置及太阳电池板制造方法

权利要求书

1.一种激光加工方法，其特征在于：一边依次反复进行以下步骤，一边对从前段装置搬送来的玻璃基板进行激光加工，所述步骤包括：

向规定位置对从前段装置搬送来的第1玻璃基板进行对准处理的步骤；

一边保持着进行所述对准处理后的所述第1玻璃基板并使所述第1玻璃基板相对地移动，一边照射激光束，由此对所述第1玻璃基板实施激光加工的步骤；

在利用所述激光束实施加工的期间，向规定位置对从所述前段装置搬送来的第2玻璃基板进行对准处理的步骤；以及

在利用所述激光束进行的加工结束之后搬出所述第1玻璃基板，并且一边保持所述第2玻璃基板并使所述第2玻璃基板相对地移动，一边照射激光束，由此对所述第2玻璃基板实施激光加工。

2.根据权利要求1所述的激光加工方法，其特征在于：

在利用所述激光束进行的最初的加工处理结束的时间点，获取包含通过所述最初的加工处理而形成的所述玻璃基板的形状变化部分与所述玻璃基板的边缘部的双方的部位的图像，并存储所述图像来作为所述玻璃基板的ID数据，在实施第二次或第二次之后的加工处理时，根据所述ID数据来进行所述对准处理。

3.根据权利要求1或2所述的激光加工方法，其特征在于：

获取所述玻璃基板的四角附近的图像，并根据此图像来检测所述玻璃基板的弯曲(翘曲)或所述玻璃基板的四角附近的缺口。

4.根据权利要求1或2所述的激光加工方法，其特征在于：

获取所述玻璃基板的外周缘的图像，并根据此图像来检测所述玻璃基板的弯曲(翘曲)以及所述玻璃基板的所述外周缘的缺口。

5.一种激光加工装置，其特征在于包括：

激光束照射单元，对相对移动的玻璃基板照射激光束来实施规定的加工处理；

第1对准单元，向规定位置对从前段装置搬送来的第1玻璃基板进行对准处理；

第2对准单元，向规定位置对从前段装置搬送来的第2玻璃基板进行对准处理；

第1保持单元，在利用所述第1对准单元进行的对准处理结束之后，保持所述第1玻璃基板，并使所述第1玻璃基板相对于所述激光束照射单元进行相对移动；

第2保持单元，在利用所述第2对准单元进行的对准处理结束之后，保持所述第2玻璃基板，并使所述第2玻璃基板相对于所述激光束照射单元进行相对移动；以及

控制单元，进行控制以对从所述前段装置依次搬送来的玻璃基板执行以下的一系列动作：一边以所述第1保持单元保持着利用所述第1对准单元进行对准处理后的所述第1玻璃基板，一边使所述第1玻璃基板相对于所述激光束照射单元进行相对移动，由此利用所述激光束来对所述第1玻璃基板进行加工，且在进行此激光束加工的期间，利用所述第2对准单元来对所述第2玻璃基板执行对准处理，在利用所述激光束来对所述第1玻璃基板进行的加工结束之后搬出所述第1玻璃基板，并且一边以所述第2保持单元保持着所述第2玻璃基板，一边使所述第2玻璃基板相对于所述激光束照射单元进行相对移动，由此利用所述激光束来对所述第2玻璃基板进行加工。

6.根据权利要求5所述的激光加工装置，其特征在于包括：

图像获取单元，在利用所述激光束进行的最初的加工处理结束的时间点，获取包含通过所述最初的加工处理而形成的所述玻璃基板的形状变化部分与所述玻璃基板的边缘部的双方的部位的图像；

存储单元，存储通过所述图像获取单元所获取的所述图像，来作为所述玻璃基板的ID数据；以及

控制单元，在实施第二次或第二次之后的加工处理时，根据所述ID数据来控制所述第1对准单元及第2对准单元的对准处理。

7.根据权利要求5或6所述的激光加工装置，其特征在于包括：

第1图像获取单元，获取所述玻璃基板的四角附近的图像；以及

第1检测单元，根据通过所述图像获取单元所获取的所述玻璃基板的四角附近的图像，来检测所述基板的弯曲(翘曲)或所述基板的四角附近的缺口。

8.根据权利要求5或6所述的激光加工装置，其特征在于包括：

第2图像获取单元，获取所述玻璃基板的外周缘的图像；以及

第2检测单元，根据通过所述图像获取单元所获取的图像，来检测所述玻璃基板的弯曲(翘曲)以及所述玻璃基板的所述外周缘的缺口。

9.一种太阳电池板制造方法，其特征在于：使用根据权利要求1至4中任一权利要求所述的激光加工方法、或者根据权利要求5至8中任一权利要求所述的激光加工装置，来制造太阳电池板。