[发明专利]激光加工方法、激光加工装置及太阳电池板制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种使用激光束来加工薄膜等的激光加工方法、激光加工装置及太阳电池板制造方法，特别是涉及一种能够高效率地利用激光束来进行薄膜等的加工的激光加工方法、激光加工装置及太阳电池板制造方法。

背景技术

以往，太阳电池板(solar panel)的制造工序如下：在透光性基板(玻璃基板)上依次形成透明电极层、半导体层、金属层，在形成所述各层后的各工序中，利用激光束将各层加工成条带状而制成太阳电池板模块(solar panel module)。以所述方式来制造太阳电池板模块时，在玻璃基板上的薄膜上，利用激光束以例如约10mm的间距(pitch)形成划线(scribed line)。此划线是由线宽约为30μm、且线与线的间隔约为30μm的三条线构成。利用激光束来形成划线时，通常是在恒速移动的玻璃基板上照射激光束。由此，能够形成深度及线宽稳定的划线。这种太阳电池板(光电转换装置)的制造方法已知有连续方式(in-line method)。连续方式的太阳电池板(光电转换装置)的制造方法已知有如日本专利特开平6-283743号公报、日本专利特开2001-155999号公报中所记载的方法。

图1是表示以往的连续方式的太阳电池板(光电转换装置)制造装置的一例的图。此制造装置包括：搬入机械手台(robot station)(辊式输送机(roller conveyor)部)14，暂时保持从前段的成膜装置12中搬入的玻璃基板1a；激光加工台10，在玻璃基板1c上的薄膜上形成划线；及搬出机械手台(辊式输送机部)16，暂时保持加工后的玻璃基板1d，并将该玻璃基板1d搬出到后段的成膜装置18中。搬入机械手台(辊式输送机部)14包括将玻璃基板1b的表背面翻转的表背面翻转机构，根据后段的激光加工将玻璃基板1b翻转并搬送到激光加工台10。激光加工台10包括对准部10a、抓爪部10b、抓爪(gripper)驱动部10c、加工区域部10d。对准部10a是向规定位置对由搬入机械手台(辊式输送机部)14搬入的玻璃基板1c进行对准处理。抓爪部10b保持对准处理后的玻璃基板1c。抓爪驱动部10c是与加工区域部10d的激光束同步地对抓爪部10b所保持的玻璃基板1c进行移动处理。加工区域部10d将激光束照射到玻璃基板1c上来进行规定的加工。搬出机械手台(辊式输送机部)16包括将玻璃基板1c的表背面翻转的表背面翻转机构，且将实施了激光加工的玻璃基板1d的表背面翻转后作为玻璃基板1e而搬出到下一段的成膜装置18。

如上所述的以往的连续方式的太阳电池板制造装置中，利用激光加工台10上的对准部10b来进行对准处理以及玻璃基板的交接处理。因此存在如下问题，即，在加工时间以外，等待时间等的无用时间较多，且在对准部10a的机构因故障等而停机(down)时整个装置都将停机。

由此可见，上述现有的激光加工方法、激光加工装置及太阳电池板制造方法在方法、产品结构及使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决上述存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般方法及产品又没有适切的方法及结构能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。因此如何能创设一种新的激光加工方法、激光加工装置及太阳电池板制造方法，实属当前重要研发课题之一，亦成为当前业界极需改进的目标。

发明内容

本发明的目的在于，克服现有的激光加工方法、激光加工装置及太阳电池板制造方法存在的缺陷，而提供一种新的激光加工方法、激光加工装置及太阳电池板制造方法，所要解决的技术问题是使其能够尽可能地缩短加工时间，非常适于实用。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。为达到上述目的，依据本发明的激光加工方法的第1特征在于，一边依次反复进行以下步骤，一边对从前段装置搬送来的玻璃基板进行激光加工，所述步骤是：向规定位置对从前段装置搬送来的第1玻璃基板进行对准处理的步骤；一边保持着进行所述对准处理后的所述第1玻璃基板并使所述第1玻璃基板相对地移动，一边照射激光束，由此对所述第1玻璃基板实施激光加工的步骤；在利用所述激光束实施加工的期间，向规定位置对从所述前段装置搬送来的第2玻璃基板进行对准处理的步骤；以及在利用所述激光束进行的加工结束之后搬出所述第1玻璃基板，并且一边保持着所述第2玻璃基板并使所述第2玻璃基板相对地移动，一边照射激光束，由此对所述第2玻璃基板实施激光加工的步骤。