[发明专利]一种太阳能电池单晶硅片的制造方法无效
| 申请号： | 201010194517.0 | 申请日： | 2010-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN101851779A | 公开（公告）日： | 2010-10-06 |
| 发明（设计）人： | 李金甫;屠勇勇;肖冀;季炯 | 申请（专利权）人： | 浙江芯能光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人： | 吴关炳 |
| 地址： | 314400 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 单晶硅 制造 方法 | ||
1.一种太阳能电池单晶硅片的制造方法，依次包括准备、配料、拉棒和切割步骤，所述拉棒步骤包括熔化、挥发、种晶、缩颈、放肩、拉晶、收尾和冷却过程；其特征在于，其中，
(1)在所述配料步骤中，采取以原生多晶硅为主原料并掺硼母合金的配方，或者以原生多晶硅为主原料配以循环料的配方；
(2)在所述拉棒步骤中，控制坩埚转速为1rpm～8rpm以降低硅熔融液的氧浓度，控制晶棒转速为3rpm～12rpm以改善生长晶棒中氧的径向分布，并控制晶棒拉速为0.8mm/min～3mm/min。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池单晶硅片的制造方法，其特征在于，在所述配料步骤中，所述掺硼母合金的配方以质量份计为：原生多晶硅100份，电阻率为0.0015Ω·cm硼母合金0.22份～0.24份。
3.根据权利要求1所述的太阳能电池单晶硅片的制造方法，其特征在于，在所述配料步骤中，所述配以循环料的配方以质量百分计为：原生硅30％～40％，循环料60％～70％。
4.根据权利要求1至3之任意一项所述的太阳能电池单晶硅片的制造方法，其特征在于，在所述拉棒步骤中，挥发过程控制所述坩埚转速为5rpm～8rpm；拉晶过程控制所述坩埚转速为6rpm～8rpm，控制所述晶棒转速为10rpm～12rpm并控制所述晶棒拉速为0.8mm/min～1.2mm/min；收尾过程控制所述坩埚转速为1rpm～5rpm，控制所述晶棒转速为3rpm～10rpm并控制所述晶棒拉速为1.2mm/min～3mm/min。
5.根据权利要求4所述的太阳能电池单晶硅片的制造方法，其特征在于，在所述拉棒步骤中，挥发过程控制所述坩埚转速为6rpm；拉晶过程控制所述坩埚转速为8rpm，控制所述晶棒转速为12rpm并控制所述晶棒拉速为1.1mm/min；收尾过程控制所述坩埚转速为2rpm，控制所述晶棒转速为5rpm并控制所述晶棒拉速为2.5mm/min。
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