[发明专利]一种致密PbSe多晶薄膜的简单制备方法有效
申请号: | 201010197178.1 | 申请日: | 2010-06-10 |
公开(公告)号: | CN101871097A | 公开(公告)日: | 2010-10-27 |
发明(设计)人: | 马德伟;程成;严金华 | 申请(专利权)人: | 浙江工业大学 |
主分类号: | C23C16/30 | 分类号: | C23C16/30;H01L31/0312;H01L31/18 |
代理公司: | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人: | 黄美娟;俞慧 |
地址: | 310014 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 致密 pbse 多晶 薄膜 简单 制备 方法 | ||
1.一种致密PbSe多晶薄膜的制备方法,其特征在于所述制备方法是:以硒粉为硒源,以PbO为铅源,以碳粉作为还原剂,在570-1000℃的温度条件下通过热还原法制备得到所述的PbSe多晶薄膜。
2.根据权利要求1所述的致密PbSe多晶薄膜的制备方法,其特征在于所述的制备方法包括以下步骤:将沉积薄膜的衬底清洗干净以备后用;取原料硒粉、PbO粉末、碳粉混合均匀;将带有石英管的管式炉加热至570-1000℃保温,连续通入惰性气体;将混合均匀的原料置于石英舟中,把石英舟快速推入管式炉石英管的中间位置,然后把清洗好的衬底放在石英管中气流的下游400-500℃位置,且使沉积薄膜的衬底表面朝下,根据薄膜厚度的需要,沉积一定时间以后,将衬底从管式炉中取出,置于大气中冷却至室温,即得所述的致密PbSe多晶薄膜。
3.根据权利要求1或2所述的致密PbSe多晶薄膜的制备方法,其特征在于所述原料硒粉与PbO的投料摩尔比为1.2-1.1∶1。
4.根据权利要求1或2所述的致密PbSe多晶薄膜的制备方法,其特征在于所述PbO与碳粉的投料摩尔比为1.0-2.0∶1。
5.根据权利要求2所述的致密PbSe多晶薄膜的制备方法,其特征在于所述沉积薄膜的衬底的材质为硅、蓝宝石、石英或玻璃。
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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