[发明专利]一种致密PbSe多晶薄膜的简单制备方法有效

专利信息
申请号: 201010197178.1 申请日: 2010-06-10
公开(公告)号: CN101871097A 公开(公告)日: 2010-10-27
发明(设计)人: 马德伟;程成;严金华 申请(专利权)人: 浙江工业大学
主分类号: C23C16/30 分类号: C23C16/30;H01L31/0312;H01L31/18
代理公司: 杭州天正专利事务所有限公司 33201 代理人: 黄美娟;俞慧
地址: 310014 *** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 致密 pbse 多晶 薄膜 简单 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种致密PbSe多晶薄膜的制备方法,其特征在于所述制备方法是:以硒粉为硒源,以PbO为铅源,以碳粉作为还原剂,在570-1000℃的温度条件下通过热还原法制备得到所述的PbSe多晶薄膜。

2.根据权利要求1所述的致密PbSe多晶薄膜的制备方法,其特征在于所述的制备方法包括以下步骤:将沉积薄膜的衬底清洗干净以备后用;取原料硒粉、PbO粉末、碳粉混合均匀;将带有石英管的管式炉加热至570-1000℃保温,连续通入惰性气体;将混合均匀的原料置于石英舟中,把石英舟快速推入管式炉石英管的中间位置,然后把清洗好的衬底放在石英管中气流的下游400-500℃位置,且使沉积薄膜的衬底表面朝下,根据薄膜厚度的需要,沉积一定时间以后,将衬底从管式炉中取出,置于大气中冷却至室温,即得所述的致密PbSe多晶薄膜。

3.根据权利要求1或2所述的致密PbSe多晶薄膜的制备方法,其特征在于所述原料硒粉与PbO的投料摩尔比为1.2-1.1∶1。

4.根据权利要求1或2所述的致密PbSe多晶薄膜的制备方法,其特征在于所述PbO与碳粉的投料摩尔比为1.0-2.0∶1。

5.根据权利要求2所述的致密PbSe多晶薄膜的制备方法,其特征在于所述沉积薄膜的衬底的材质为硅、蓝宝石、石英或玻璃。

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