[发明专利]硅粉真空压实装置及其方法

权利要求书

1.一种硅粉真空压实装置，其特征是：包括可抽真空容器，在可抽真空容器上设置进气阀(4-2)和抽真空阀(4-3)，硅粉(8)放置在可抽真空容器内。

2.根据权利要求1所述的硅粉真空压实装置，其特征是：所述的可抽真空容器包括外壳(1)及其上盖(4)，上盖(4)盖在外壳(1)上。

3.根据权利要求2所述的硅粉真空压实装置，其特征是：所述的上盖(4)和外壳(1)之间通过多个紧固压脚(6)彼此固定连接，上盖(4)和外壳(1)之间的密封面设置密封垫(7)。

4.根据权利要求1所述的硅粉真空压实装置，其特征是：所述的硅粉(8)放置在石英坩埚(3)内，石英坩埚(3)放置在可抽真空容器中。

5.根据权利要求4所述的硅粉真空压实装置，其特征是：所述的可抽真空容器内设置基座(2)，石英坩埚(3)安放在基座(2)内。

6.根据权利要求5所述的硅粉真空压实装置，其特征是：所述的基座(2)有两个半环部件(2-1)组装而成，两个半环部件(2-1)之间通过紧固压脚(6)连接成一体，所述的石英坩埚(3)与基座(2)之间设置衬板(5)。

7.根据权利要求1所述的硅粉真空压实装置，其特征是：所述的可抽真空容器的进气阀(4-2)的下方设置档风缓冲板(4-4)，挡板缓冲板(4-4)挂设在可抽真空容器的内壁上。

8.根据权利要求1所述的硅粉真空压实装置，其特征是：在所述的可抽真空容器上设置监测可抽真空容器内部压力的负压阀(4-1)。

9.一种使用权利要求1、2、3、4、5、6、7、8或9所述的装置的硅粉真空压实方法，其特征是：首先将硅粉(8)装入可抽真空容器内，然后真空泵通过抽真空阀(4-3)将可抽真空容器抽真空，抽真空后打开进气阀(4-2)，硅粉(8)经过真空及气体吹压得到压实。

10.根据权利要求9所述的硅粉真空压实的方法，其特征是：整个抽真空时间控制在28～30分钟，在真空度达到28mmHg时将流量调至最小并保持4～5分钟，然后关闭抽真空阀(4-3)，迅速打开进气阀(4-2)。